本標準適于壓力在10-4Pa—10-3Pa范圍內蒸發類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設備（以下簡稱設備）。
　　
　　(1)設備主要技術參數
　　
　　設備的主要技術參數見表10-27。


　　
　　(2)極限壓力的測定
　　
　　①試驗條件：
　　
　　a．鍍膜室內為空載（即不安放被鍍件）；
　　
　　b．真空測量規管應裝于鍍膜室壁上或z*靠近鍍膜室的管道上；
　　
　　c．所用真空計應為設備本身的配套者，并應在有效期內；
　　
　　d．允許在抽氣過程中用設備本身配有的加熱轟擊裝置對鍍膜室進行除氣；
　　
　　e．對具有中擱板、上卷繞室和鍍膜室的卷繞鍍膜設備，應在兩室同時抽氣時對鍍膜室的壓力進行測試。
　　
　　②測試方法：在對鍍膜室連續抽氣24h之內，測定其壓力的z*低值，定為該設備的極限壓力。當壓力變化值在0.5h內不超過5%時，取測量表讀數z*高值為極限壓力值，且鍍膜室內各旋轉密封部位處于運動狀態。
　　
　　(3)抽氣時間的測定
　　
　　①試驗條件：同極限壓力測定的試驗條件之a、b、c、d。
　　
　　②測試方法：設備在連續抽氣條件下，在鍍膜室內達到極限壓力之后，打開鍍膜室15min，再關閉鍍膜室對其再度抽氣至表10-31中所規定的壓力值所需的時間，定為該設備的抽氣時間。
　　
　　(4)升壓率測定
　　
　　①試驗條件：同極限壓力測定。
　　
　　②測試方法：設備在連續抽氣24h之內使鍍膜室內達到穩定的z*低壓力之后，關閉與鍍膜室相連接的真空閥，待鍍膜室壓力上升至P1(1Pa)時，開始計時，經1h后記p2，然后按下式計算升壓率：