超聲波清洗的原理是利用它所造成的介質的“空隙現象”，即由超聲波的振動引起清洗介質疏密的變化而達到清洗目的。振動使介質時而稀疏形成瞬時的空隙，時而閉合，閉合時產生的瞬時沖擊壓力可大到幾個大氣壓，這個強大的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中。
  　　 　　超聲波清洗可以去掉零件上孔內部的污染物，這是一般清洗方法所無法實現的。超聲波清洗的溶液可以用水和其它溶劑，若用三氯乙烯會有更好的去油效果。常用工作頻率為4MHz～10MHz。