由于各種污染可以使電真空器件變質，影響使用壽命和可靠性，因而電真空工藝具有特殊性。一般而言，電真空器件所用的金屬材料或零件在經過機械加工后都要進行去油。利用堿性溶液和有機溶劑都可以去除金屬表面的油脂和其它臟物。在去油之后，如果金屬表面還留有氧化物，則一般還要用酸洗來浸蝕金屬。酸洗以后，要用氨水中和，或在沸水中煮，否則金屬容易重新生銹。z*好的清洗方法是，零件經過化學處理后，再進行燒氫處理，除去殘留在表面上的雜質或氧化物，驅走大部分金屬吸附的氣體。z*后一次沖洗用蒸餾水或去離子水。因為水不干凈，雜質還會污染材料。z*后需注意的是，裝入真空系統或器件的材料，z*好是剛剛經過清潔處理的。如果要貯存一段時間，則必須用無纖維的清潔紙或鋁箔包扎，然后放入干燥器或真空貯存柜內，以免材料表面重新污臟或氧化。
　　
　　為了保證清潔工作的成功，除了盛裝器件的容器要非常干凈外，持取和揩擦的工具也是值得注意的。赤裸的手是非常可怕的，它會帶來有機油脂和其它臟物，而使任何嚴格去污的結果歸于失敗。因此在一般情況下要用不銹鋼的小鑷子(可以避免在空氣中生銹，也抵抗了酸堿的浸蝕)鉗取物品。用以拭揩器件外部的材料一般用脫脂棉，但在拭揩內部或表面比較粗糙的物體時，則用干凈的白綢，以避免殘留纖維。絲織手套或棉紗手套會很快吸足汗液而滲透出汗液來，橡皮手套含有硫而且套卸不便，白色的塑膠手套比較好，但在使用氰化物溶液時則必須帶橡皮手套。即使在一般場合下口罩也是很必要的，口罩帶用橡筋帶比紗帶更合適。經過清潔處理的干燥材料，要用不易掉落纖維的半透明紙或鋁箔包扎，然后放入真空柜或干燥器內保存。