油擴散泵真空系統是使用z*廣泛的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3Pa～1.3×10 -5Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期使用后，常見的故障是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。真空度抽不上去的原因需要仔細分析，可能是活動密封處松動、焊縫漏氣、真空泵或真空閥門等元件損壞等原因所導致。此外，真空室內壁的油蒸氣污染，真空工藝過程各種污染物的污染也可能是主要原因。防止的辦法是：①定期清洗真空室;②定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵進行清洗。
　　
　　對真空室進行清洗時須注意的是，在打開真空室之前要關閉好位于油擴散泵與真空室之間的真空閥門，以免污染物落到擴散泵內。真空室內壁的顆粒狀污染物可用紗布或綢布擦掉。表面銹痕、氧化層可用細砂紙輕輕磨掉。表面的油污先后用干凈汽油、酒精、丙酮或甲醇進行擦洗，z*后用綢布擦表面直至不見灰痕為止。
　　
　　對油封機械泵，將泵拆開后可按下面方法進行清洗：
　　
　　①先用廢汽油清洗，再用汽油清洗，z*后用航空汽油清洗。
　　
　　②用棉布或綢布蘸少量甲醇或丙酮逐一擦洗零件表面。不要用棉紗，以免棉絲留在零件表面上。
　　
　　③如果有銹或毛刺，用細油石或金相砂紙輕輕地擦，注意不要損傷零件表面。
　　
　　④應將油路通孔、油槽、氣體通道內部的污垢徹底清除干凈，并用壓縮空氣將油路吹通吹干。油路中不要留下清洗用的汽油、甲醇、丙酮等殘余物。
　　
　　⑤清洗后的零件用綢布擦凈，并用熱風吹干后放在貯柜中，以免落上灰塵。
　　
　　清洗無明顯故障的油封機械泵，一般不需要將泵拆開，只需從放油孔放出舊油及臟物。然后再從進氣口注入新油，用手慢慢地將泵轉動幾圈后，再把油放出。這樣，重復一二次，z*后注入新油。
　　
　　對金屬油擴散泵的清洗，可按下列步驟進行：
　　
　　①將泵芯取出并拆開。用于凈棉紗擦去各部位的泵油。
　　
　　②用棉紗或綢布擦去泵內壁上的泵油。
　　
　　③用酒精、丙酮，或用加熱到60℃～70℃的氫氧化鈉水溶液直接清洗泵體內壁表面和泵芯。
　　
　　④用吹風機的熱風吹干。