低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等要求具有工作壓力高、排氣量大的低真空抽氣機組。這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣噴射泵、水環泵、羅茨泵等。使用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其它特殊要求，配置必要的除塵器、干燥罐等部件。
　　
　　往復泵、油封機械泵不適于抽含有灰塵的氣體。灰塵能污染泵油并且磨損泵腔內表面產生漏氣，使極限真空度下降。防止灰塵的辦法是裝置除塵器。
　　
　　油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，并與泵油混合形成懸浮液，不僅會使真空度下降，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度下降。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：①選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵，當泵溫為70℃- 80℃時，可允許抽除含有水蒸氣分壓為1.3×103Pa～4×103Pa的氣體;②裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流人泵中使用;③使用吸水性強的干燥劑，如五氧化二磷、三氧化二鋁、氯化鈣、分子篩等做成捕集阱吸收水蒸氣;④使用液氮冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻擋機械泵油向高真空室返流。工業上常用前兩種方法，實驗室及小型抽氣系統常用后兩種方法。