在真空獲得和真空測量技術中，經常遇到各種工藝問題。這些工藝問題涉及面很廣，除一般的機械加工外，主要有材料及零(部)件的清潔處理，不同材料的焊接、粘結和封接，設備的真空排氣工藝以及吸附劑活化處理等。現將主要工藝問題列舉如下：

　　
　　真空技術對工藝的要求：
　　
　　①材料表面放氣率低;
　　
　　②氣密性好;
　　
　　③有利于獲得真空的光滑“清潔”表面;
　　
　　④化學性質穩定;
　　
　　⑤在高、低溫沖擊下有一定的機械強度;
　　
　　⑥超高真空和極高真空設備上的有關零(部)件應能承受400℃的高溫烘烤。