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真空鍍膜:電阻式加熱蒸發源
發布時間:2019-05-07 21:38:16 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
  真空鍍膜中,鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。
  
  其中,電阻加熱式蒸發源實際上就是一個電阻加熱器,它是利用發熱體通電后,產生焦耳熱而獲得高溫,以此來熔融膜材使其達到蒸發的目的。由于這種源結構簡單,操作方便,成本低廉,材料易于獲得,因此,在鍍膜技術中得到了廣泛的應用。
  
  (1)絲狀源與舟狀源
  
  用難熔金屬制成的絲狀或舟狀電阻源是目前應用z*廣泛的一處蒸發源。其金屬絲、錐形筐和線圈可以是單股線的或多股線的。圖10-2為絲狀源簡圖,圖10-3為舟狀源簡圖。
  
  目前用于電阻加熱式熱源的材料有W、Ta、Mo、Nb等高融點金屬,有時也用Fe、Ni、Ni-Cr合金等,其中z*常用的是鉬片和鎢絲。
  
  (2)鋁蒸發用坩堝加熱器。在真空鍍膜技術中,蒸友鋁材占有重要的地位。在電子工業,光學零件特別是輕工業中蒸鍍鋁膜是非常普遍的。
  
  ①石墨坩堝加熱器。一般認為,連續式蒸發設備所使用的蒸發源應具備的性能是:蒸發效率應足夠高;使用壽命應足夠長;坩堝與蒸發材料不發生反應;能長時間穩定地蒸發并能自動補充蒸發材料。根據這些要求,目前所采用的加熱方式有電阻加熱、高頻加熱和電子束加熱。在大多數鍍鋁設備中,采用z*多的還是直接通電的電阻加熱蒸發源。蒸發源所用的坩堝材料一般為難熔金屬(如W、Mo、Ta)和石墨。前者多用于間歇式蒸發設備中,后者多用于連續式蒸發設備中。
  
  ②氮化硼合成導電陶瓷加熱器。為了獲得比石墨更加理想的蒸發器材料,在真空鍍膜設備中,廣泛采用了一種新的蒸發器,即氮化硼合成導電陶瓷加熱器。這種加熱器是由耐腐蝕、耐熱性能優良的氧化物、硼化物等材料通過熱壓、涂敷而成的一種具有導電性的陶瓷材料。
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