真空鍍膜中，鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。
　　
　　在設計蒸發源時，需注意事項是：①蒸發源要使膜材有較高的蒸發率，并能存貯足夠的膜材；②蒸發率易控制；③長時間工作穩定性要好；④蒸發源需有較長的壽命，可靠性要高；⑤運轉費用低，易于維護。從蒸鍍材料方面來講，蒸發源應能夠蒸鍍Al、Ti、Fe、Co、Cr及其合金，以及Si0、Si02、MgF、ZnS等。