擴散泵真空機組是真空工程中廣泛使用的一種抽氣設備，其工作壓力范圍10-IPa -10-4Pa，抽速從102L/S—2×104L/S。它采用油做工作介質，對于怕油污染的真空環境，其使用受到了一定限制。如果采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液，返油就會得到很大改善。也可以采用水冷擋板，再裝一個簡單的液氮阱，可使返油率小于5×10 -6 mg/cm2.min。擴散泵機組對各種氣體抽氣無選擇性，操作簡單，便于維護。因而廣泛地應用于光學工業、電子工業、真空冶金、航天及原子能工業中。