通常通過觀察窗來監視真空容器內部生產情況（如觀測溫度、試料狀態等）或傳輸光源。根據密封型式，觀察窗可分為可拆連接和不可拆連接。前者用于高真空和低真空系統，后者用于超高真空系統。在不可拆連接中，用無氧高導銅和玻璃的不匹配封接或者使用可伐與玻璃的匹配封接，兩者都能承受300℃～450℃高溫烘烤。真空度要求不太高的地方，可用透明有機玻璃板代替玻璃板。傳播光線的觀察窗材料可采用光學玻璃或石英玻璃等。石英玻璃用在高溫爐上，為了預防橡膠密封圈過熱，法蘭要用水管冷卻。為了防止某些金屬蒸鍍到玻璃片上，可裝設擋片或擦拭片。