預抽中，當壓力降到粘滯一分子流狀態的壓力時（<10Pa數量級），機械泵油開始污染真空系統。壓力進一步降低到分子流狀態的壓力時，機械泵油就以不變的流量Q=pU污染真空系統（p——一定溫度下機械泵油的飽和蒸氣壓；U-前級管道的流導）。設室溫下p= 10-2Pa，U= 10L/s，則Q=1×10-1Pa·L/S，此值相當于每秒幾微克的油返流到真空系統。假設真空系統的面積1000cm2油將以0.1單分子層／S的速率淀積在表面上。為防止機械泵油的污染，通常采用的措施是：

　　①前級管道中加裝液氮冷阱、分子篩吸附阱、活性氧化鋁阱等來阻擋機械泵油蒸氣的返流；
　　
　　②用純凈氮氣沖洗。機械泵抽到10Pa左右以后馬上關閉機械泵，啟動分子篩低溫吸附泵預抽。
　　
　　圖7-29為前級管道阱結構；圖7-30為各種前級管道抽氣時間特性。圖7-31為兩種類型的氮氣純化器的流程圖。
　　
　　氮純化器操作程序：打開純化器A和B，啟動機械泵預抽，控制流量使管道內氣體狀態為粘滯流，容器和管道中吸附的二氧化碳和水蒸氣及其它污染物被干凈純化氮氣流帶走。純化半小時后，關閉純化器A，管道上低溫吸附阱中充入液氮，并關閉純化器B，抽到10Pa壓力后，關閉預抽機械泵，繼續用低溫吸附阱抽氣。