液氮冷阱雖能有效地降低泵油返流，但是少量的油蒸氣分子仍然可以穿過冷阱.此外，泵油的裂解物中有大量氫氣，它不能被液氮冷阱捕獲，成為限制擴散泵獲得更高真空的一個主要因素。在擴散泵和真空室之間加裝鈦升華阱，除能擋住油分子及其它裂解物的返流外，還能捕集氫。因此，裝有鈦升華阱的超高真空系統，能獲得10-11Pa—l0-12Pa的極限壓力。
　　
　　典型鈦升華阱的結構型式如圖7-26~圖7-28所示。