超高真空機組工作在10^-6Pa—10^-8Pa超高真空壓力范圍，除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經受200℃—450℃高溫烘烤外，對機組的要求還有：
　　
　　①主泵的極限真空要高，至少在10^-7Pa—l0^-8Pa以上。
　　
　　②在超高真空的工作壓力范圍內主泵具有一定的抽速。
　　
　　③機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200℃—450℃高溫烘烤。
　　
　　④來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸汽及解析的氣體)的分壓力要足夠低。
　　
　　⑤對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵。
　　
　　⑥機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件，材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和采用金屬圈密封。