真空元件:銅箔阱的概述
發布時間:2019-05-07 22:30:14 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
銅箔阱吸附油蒸氣的現象是屬于物理吸附過程,因而要求有較大的吸附表面。典型的銅箔阱如圖7-12(a-c)所示。它是用厚0.76mm、寬152mm的無氧高導銅滾壓成深0.63mm的波狀板,再卷起來放在真空室和擴散泵之間的管道中做成的。真空室和銅箔阱經450℃高溫去氣后,在室溫下,18d內可以維持10-9Pa的真空度,30d后壓強升高到相當于擴散泵油的飽和蒸氣壓值(如圖7-12(d)所示)。
銅箔阱的串聯、并聯及銅箔阱長度與有效工作時間關系如圖7-12所示。
根據圖7-12(d)的實測數據,可以得出計算銅箔阱在1×10-7Pa以下的有效工作時間的經驗公式
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