阱廣泛用于超高真空（或高真空）系統。阱的作用類似于擋板，它裝在泵入口和真空室之間，不僅能有效地捕集來自蒸氣流泵的返流蒸氣及部分裂解物，而且可抽除來自真空室的蒸氣。裝有各類阱的超高真空系統，經過徹底的高溫烘烤去氣后，可以獲得10-8Pa～10-10Pa（或更高）的超高真空度。在真空技術中常用的阱有銅箔阱、分子篩吸附阱液氮冷阱、鈦升華阱以及阻擋機械泵油用的前級吸附阱等。