小型擴散泵高真空抽氣機組通常配置有貯氣罐，設置在擴散泵和前級泵之間，貯存擴散泵排出的氣體，設置貯氣罐的原因有：
　　
　　①由于需要防震而設置貯氣罐。真空系統工作時，某些工藝過程要求嚴格防震，因此需要機械泵在一段時間內停止工作。在這段時間內，擴散泵排出的氣體全都貯存在貯氣罐中;貯氣罐代替機械泵維持擴散泵正常工作。
　　
　　這種用途的儲氣罐的體積V為
　　
　　②為了縮短工作周期而設置貯氣罐。有些生產工藝要求在不關閉擴散泵加熱器的情況下，真空室放進大氣換取元件、裝料。裝料后，用機械泵預抽真空室，這段時間內利用貯氣罐來維持擴散泵工作。
　　
　　這類貯氣罐體積的計算公式同式(9-28)。此時Q為擴散泵閥門關閉后貯氣罐的氣體負荷(漏氣及出氣)，t為機械泵預抽真空室的時間，其余符號同式(9-28)。
　　
　　③為防止真空室內瞬時大量放氣影響擴散泵正常工作而設置貯氣罐。工藝生產中某段時間內放氣量特別大，但時間短。若按此時的z*大排氣量配機械泵很不經濟，這樣可配置前級貯氣罐，在z*大放氣量時貯存一部分氣體，以避免擴散泵前級壓力超過臨界前級壓力。
　　
　　前級貯氣罐體積計算同式(9-28).但設計這類前級罐時，應滿足下面關系式

　　
　　④用于穩定擴散泵出口壓力而設置貯氣罐。機械泵排氣是脈沖的，雖然頻率不高(一般為7次/s左右)，也會引起擴散泵出口壓力的波動，設置貯氣罐可減少這種波動。