真空裝置:小型空間模擬設備
發布時間:2019-05-07 22:32:03 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
圖9-17為小型雙層空間模擬設備原理圖,內容器可以達到10^-10 Pa~10^-12Pa的真空度。
真空室由內容器和外容器構成。內容器主要抽氣手段是20K氣氦板,其預抽用擴散泵,擴散泵與內容器之間抽氣管道較長,并用液氮冷凍,因而擴散泵油分子很難跑到內容器中,從而保證內容器可以得到很高的真空度。內容器外部設有外容器,抽氣手段是用擴散泵串接抽氣,并有液氮冷阱,保證了內、外容器之間夾層有較高的真空度,大大降低了向內容器的漏氣量。外容器用橡膠密封,放出來的氣體由外容器的泵抽走,不會進到內容器中。
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