真空裝置:.溫控涂層耐久性試驗裝置
發布時間:2019-05-07 22:32:08 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
圖9-16為衛星表面溫控涂層耐久性試驗裝置原理圖。裝置包括:加速電壓20kV、柬流為0—300mA的掃描電子槍;能量為1keV~SkeV的質子源;5kV高壓汞弧氙燈紫外源,通過鍍鋁拋物面反射鏡,穿過石英窗投射到樣品上。
真空系統主泵是鈦升華泵及濺射離子泵,升華泵的吸氣面用液氮冷卻。粗抽用三級分子篩吸附泵。系統經過300℃的烘烤,可達10^-9Pa的真空度。
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