圖9-15為表面研究用的超高真空設備真空系統原理圖。真空室用不銹鋼制成，直徑450mm，高700mm，容積100L，用銅墊圈密封。系統粗抽用三個分子篩泵及無油機械泵。主泵是鈦升華泵，吸氣面用液氮冷卻，配有濺射離子泵與升華泵聯合抽氣。此系統從大氣抽到l×10^-2Pa為15min，200℃下3.5h烘烤后的真空度為10^-2Pa—l0^-8Pa，30h左右的極限真空<1×10^-8Pa。