濺射離子泵通常與鈦升華泵聯合使用。濺射離子泵的殘氣中主要成分是氫，而鈦升華泵抽氫效果z*好。一般中小型真空系統以濺射離子泵作主泵;而大型系統以鈦升華泵作主泵， 用這種機組可得到10-9Pa的真空度。在超高真空系統中，要求濺射離子泵要徹底烘烤。如果真空室已進行了高溫烘烤，那么泵只需要250℃烘烤，真空度到10 -5Pa后，緩慢升到250℃，時間為10h—20h。