超高真空插板閥型式與性能參數(4)
發布時間:2019-05-07 22:33:47 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
北京中科科儀技術發展有限公司生產手動(CC型)、電動(CCD型)、氣動(CCQ型)三種超高真空插板閥,使用壓力范圍為1.01×105Pa~10-7Pa。
CC系列超高真空手動插板閥外形尺寸及技術性能參數見表7-49。(CCD-250型電動超高真空插板閥外形尺寸及性能參數見表7-50。CCQ系列超高真空氣動插板閥,適用于105Pa~10-7Pa,z*佳安裝位置為水平安裝,垂直安裝時應避免氣缸沖下。外形尺寸及性能參數,見表7-51。
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