超高真空系統清洗處理非常重要，清洗處理好與否，直接影響極限真空的獲得。良好的清潔處理工藝，可以使材料的出氣率低幾個數量級。以不銹鋼為例，長期暴露于大氣，不進行任 何處理，抽氣1h后的出氣率為2×10^-3[Pa.m^3/(s.m^2)];如果經除油處理，不烘烤抽氣4h后可到1×10 ^-5[Pa.m^3/(s.m^2)];若除油后再清洗，在250℃下烘烤15h，出氣率可降到1×10^-8 [Pa.rn^3/(s.rrr^2)]，使出氣率下降了近五個數量級。文獻詳細論述了真空清洗原理、清洗劑以及各種清洗方法和清潔處理方法。
　　
　　真空系統烘烤，對獲得超高真空是不可少的手段。一個設計合理的真空系統，如果沒有烘烤手段，也沒有采取其它措施，無論選擇什么類型的真空泵抽氣，如擴散泵、渦輪分子泵、濺射離子泵、低溫泵等，只能獲得的工作壓力約為10 -4Pa—10-5Pa數量級，極限真空10 - Pa量級，再高的真空度是不可能的。
　　
　　不銹鋼z*有效的加速出氣方法有兩種：①在800℃—950℃溫度下真空烘烤;②在400℃下空氣中烘烤。真空烘烤應在10-6Pa下進行，這樣可使材料中的氫濃度降低到z*低限度。資料[63]提出烘烤應在2700Pa的純氧中進行，以避免烘烤過程中，存在的水蒸氣對表面產生影響。
　　
　　烘烤時需要注意金屬一玻璃封接件、金屬一陶瓷封接件的烘烤溫度不應超過400℃。銅墊圈不應超過450℃。資料[16]提出玻璃烘烤溫度根據種類不同而異，其范圍為140℃～300℃內，非金屬材料為80℃—100℃，普通金屬材料為300℃～450℃。資料[64]介紹了超高真空系統的烘烤方法。