金屬材料都是通過熔煉和鑄造得到的，在此過程中，空氣中的氫、氧、氮和碳的氧化物不同程度地溶于材料之中。存放材料時，其表面還會吸附大量氣體，主要是水蒸氣、氧、氮、碳的氧化物等。材料加工過程中的再污染及其本身的非致密性引起的滲透，這些因素就構成了真空中的主要氣源。
　　
　　用真空泵抽真空室時，s*先抽走的是容積中的大氣(這部分氣體很快被抽走)。然后是材料表面解吸的氣體、材料內部向表面擴散出來的氣體、以及通過器壁滲透到真空中的氣體。解吸及擴散到表面再解吸氣體的衰減速率非常緩慢，需要時間很長。一臺金屬密封的不烘烤的真空系統，計算表明，要達到超高真空(低于10 ^-7Pa)所需大約10^8h，可見不采用烘烤技術想得到超高真空是很困難的。
　　
　　超高真空所需要的材料，除滿足真空材料一般要求外，還應滿足下列要求：
　　
　　①在烘烤溫度下，材料不應該喪失其機械性能;殼體材料能承受外部大氣壓力。一般低熔 點金屬和軟玻璃滿足不了這種要求。
　　
　　②材料在烘烤溫度下蒸汽壓要低。
　　
　　③材料的滲透氣體量不能超過允許值。
　　
　　④材料加熱時不易變形。
　　
　　⑤材料表面容易拋光。
　　
　　從這些要求出發，適于超高真空中用的通用材料有：
　　
　　不銹鋼——超高真空系統中主要用材，常用于做殼體、管道、法蘭以及各種真空元件。我國超高真空系統常用材料是1Cr18Ni9Ti，美國多用304不銹鋼，其次還有304L、316、316L、 321、347等;英國多用347;其它歐洲各國常用316不銹鋼。不銹鋼材質很好，但采用焊接工藝不當，亦會造成晶間腐蝕、熱裂縫、氣孔、奧氏體焊縫脆化等缺陷，影響殼體的氣密性。資料[59]中詳細分析了這些缺陷產生的原因及消除方法。
　　
　　玻璃——用于封接電極引入線、制作規管管殼及觀察窗等。
　　
　　氧化鋁陶瓷——制作電極引入線的絕緣子。
　　
　　可伐——制作與玻璃或陶瓷的封接件。
　　
　　金、銀、銅、鋁——密封圈材料。
　　
　　氟橡膠——常開啟的門與窗的水冷密封圈。