真空室:粗抽泵抽速確定
發布時間:2019-05-07 22:34:58 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
各種低溫泵、低溫吸附泵(不含分子篩泵)、濺射離子泵、鈦泵等均需要在某種預真空下才能啟動。此時,系統所需預抽泵的抽速不僅與真空室容積有關,同時與所設定的預抽時間有關。預抽泵的抽速用下式計算
其余符號同式(9-11)。
對于大型真空系統,用主泵配置的前級泵作為粗抽泵時不可取。因為有時為了縮短粗抽時間,前級泵需配置較大,長期運行耗能很高,很不經濟。為此,大型系統均配有專用的粗抽泵。其抽速計算同式(9-26)。
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