真空室:前級泵的配置抽速確定
發布時間:2019-05-07 22:35:16 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
主泵選定之后,如何配置前級泵,需遵守的原則是:
①要求前級泵造成主泵工作所需的預真空條件;
②抽走主泵產生的z*大氣體量;
③必須滿足主泵進氣口能工作的z*大壓力時所需的預抽時間要求。
不同的主泵其前級泵配置各異,分述如下。
1.蒸汽流泵前級配置
此類泵包括油擴散泵、油擴散噴射泵以及增擴泵等。在主泵允許的z*大排氣口壓力下,前級泵需將主泵產生的z*大氣體量及時抽走,即前級泵的有效抽速必須滿足
2.羅茨泵配置油封機械泵
羅茨泵其前級配置油封機械泵,前級泵的抽速由經驗公式確定,即
式中系數選擇,通常抽速大的羅茨泵區職校,抽速小的選大值。
3.羅茨泵以水環泵抽速選擇根據經驗確定,即
4.羅茨泵串聯機組
羅茨泵串聯機組,有兩種配置方式:其一是羅茨泵--羅茨泵--機械泵;其二是羅茨泵--羅茨泵--水環泵。兩種方式均是以羅茨泵為主泵,而另一羅茨泵為前級,兩羅茨泵抽速關系,由經驗確定,即
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