真空室所能達到的極限真空，有下式決定：

　　
　　真空室的極限真空通常總是低于真空抽氣機組的極限真空。兩者之差取決于Qo/Sp，在抽氣口附近泵有效抽速一定的條件下，真空室的極限真空正比于真空室的漏氣和出氣。
　　
　　在設計真空系統時，漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態下氣體負荷(工藝生產中放出的氣體量)的十分之一。

　　 　　表9-1給出了各種真空裝置允許的漏氣量值。