(1)真空泵液返流率測試裝置相關術語
　　
　　①真空泵液返流率泵按規定條件工作時，在單位時間內通過真空泵人口單位面積并與被抽氣體流動方向相反的真空泵液質量流量。
　　
　　②測試罩指裝在真空泵入口處的，具有規定的型式和尺寸的容器。測試氣體通過罩充入真空泵內，其側壁裝有充氣閥、真空計規管。
　　
　　(2)真空泵液返流率測試裝置測試裝置
　　
　　①真空泵液返流率測試裝置測試裝置的組成測試裝置如圖4-52所示，測試法蘭裝配在被泵與測試罩之間，集液管經真空膠管與測試法蘭相連接。
　　
　　②真空泵液返流率測試裝置測試罩測試罩為如圖4-48所示的圓筒形容器，罩的內徑D與泵口內徑相等，頂部具有10^n斜面，軸線高度1.5D。氣體通過彎管充入罩內，彎管開口向上，且位于測試罩軸線上。
　　
　　彎管開口平面與泵口法蘭平面的距離為D，規管與罩的連接管在距泵口法蘭平面0.5D處，其軸線垂直于測試罩軸線。
　　
　　測試罩外表面繞焊水冷管或其它水冷裝置，專用于泵液返流率的測試。
　　
　　③真空泵液返流率測試裝置測試法蘭如圖4-52所示，用一個內表面開設有斜槽的法蘭收集返流的泵液。法蘭內徑與泵口及測試罩內徑相同。
　　
　　④集液管 如圖4-52所示，為一下端封閉、豎直安裝且帶有1/10mL刻度的玻璃管。經真空膠管將集液管上端與測試法蘭相連接，用以收集返流的泵液。管的刻度誤差應不大于±5%。
　　
　　⑤真空計規管與測試罩間連接管的流導至少應為3L/s。連接管端應突出于罩內壁Smm。開口平面應平行氣流流動方向。
　　
　　在測試過程中，真空計壓力讀數取兩位有效數字。所用真空計，必須經過國家計量部門承認的校準單位使用干燥空氣進行校準。
　　
　　當壓力高于或等于1Pa時，校準精度應在±5%以內;壓力低于lPa時，校準精度應在±10%以內。
　　
　　如果真空計規管與測試罩之間已裝設冷阱，則在泵液返流率的測試過程中不許裝添冷劑。