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滑閥式真空泵的結構主要由泵體及內部作偏心轉動的柱塞部件、半圓形的柱塞導軌、排氣閥、軸等組成，如圖3-24所示。泵體中裝有“滑閥”環4，滑閥環內裝有偏心輪3，偏心輪固定在軸2上，軸...
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低溫泵長期工作會因霜層過厚，產生較大的溫度梯度。隨著溫度梯度增加，泵的抽速將迅速衰減。霜層溫度高于20K時對N2的抽氣效果影響很大。溫度在23.7K時，N2的飽和蒸氣壓為10-6Pa．27K時為10-4Pa，...
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①蘭州真空設備有限公司生產的Z系列油擴散噴射泵外形及安裝尺寸見表4-19。
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油擴散真空泵(簡稱油擴散泵)是用來獲得高真空或超高真空的主要設備。它廣泛用于電子工業、化學工業、真空冶金、真空熱處理、真空鍍膜設備、原子能工業以及空間模擬設備等高科技領域中。油擴...
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1961年，有人發現低溫泵在抽除冷凝氣體的同時，殘余的非冷凝氣體也一起被排除了，而且非冷凝氣體的排除量比物理吸附的量還大。后來又有人發現，用77K冷凍面抽除冷凝氣體C02時，非冷凝性氣體N2也被...
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直聯泵是容積式真空泵的一種，它利用轉子在缸內的高速旋轉和滑片在轉子槽內的往復運動以改變工作室的容積進行抽氣。該泵的主要結構如圖3-25所示。直聯泵為雙級結構，兩級前后串聯，被抽氣體逐級...
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油封旋片式真空泵行業標準（摘自JBtl-6533-97）。①范圍：本標準適用于雙級油封旋片式真空泵（以下簡稱泵）；②定義：本標準采用下列定義：a．抽氣速率S。當泵裝有標準測試罩并按規定條件工作時，從測...
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典型的小型制冷機低溫泵的泵體結構如圖5-57所示。兩級制冷機冷頭通過法蘭直接插入到泵殼內。屏蔽板及入口障板與制冷機一級冷頭相連，工作溫度在70K～80K。屏蔽板的作用有二：除可以冷凝抽除H20...
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小型制冷機低溫泵采用兩級制冷的氦封閉循環制冷機。選用這種制冷機的原因是它在77K和15K時能提供抽除真空室所必需的制冷功率。適合小型制冷機的制冷循環如圖5-53所示。現代小型制冷機低溫泵...
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高真空油擴散泵的主要部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導管和加熱器等，如圖4-30所示。擴散泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度(約200℃)，產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向...
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1.擴散泵油蒸氣的返流擴散泵油蒸氣的返流可歸結為五種原因(如圖4-31所示)：①泵壁表面油膜和油滴的蒸發(如圖4-31①所示);②噴嘴噴出的高速油蒸氣流碰到泵壁后的反射(如圖4-31②所示);③一級噴...
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①型式。單級旋片真空泵的結構型式是轉子偏心地裝在泵殼內表面固定面相切（或相交），在轉子內裝有二個（或二個以上）旋片，當轉子旋轉時，旋片沿其徑向（或斜向）槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，將...
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①范圍。本標準適用于各種類型的單級、雙級滑閥真空泵（以下簡稱泵）②定義。本標準采用下列定義：a．抽氣速率。當滑閥真空泵裝有標準測試罩并按規定條件工作時，從測試罩流過的氣體流量與在測試...
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用來貯存和運輸沸點溫度低于120K液態氣體的設備均稱為低溫容器。真空技術中z*常用的低溫容器是液氮容器和液氦容器。低溫容器的分類見表5-27。
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(1)制冷機低溫泵的極限壓力制冷機低溫泵的極限壓力如同上節所述，取決于低溫冷凝板溫度和吸附劑的吸附特性。用制冷機低溫泵的抽氣系統，普通碳鋼容器不經烘烤可以獲得低于10-6Pa的真空度，不銹...
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