報警內容 故障分析 排除方法 CO₂ Supply Low、 He Supply Low、 N₂ Supply Low、 Air Supply Low 對應相關氣體壓力低 更換相應的氣體 Compressor overload、 Compressor Temp High 渦輪機過載、 渦輪機溫度高 確定環境溫度是否符合要求，斷電檢查渦輪機情況 Compressor Fault 渦輪機故障 一般開始啟動激光器都會出現報警，等運行完準備上高壓報警自動取消 Vacuum pump Overload 真空泵過載 檢查真空泵油位、油質 System pressure 系統電壓 檢查外部電壓穩定性 Shutter Fault、 Shutter H₂O Flow 光閘故障報警、 光閘水流報警 檢查激光器機械光閘和冷卻水情況 H₂O Flow Low 水流低報警 檢查冷水機出口壓力，水箱水量 Inverter Fault 變極器故障 聯系PRC Interlock Open 門報警 激光器門未關好，重新檢查 Oil Temp High、 H₂O Temp High 油溫高 水溫高 停機檢查真空泵油 檢查冷水機 Enclosure Temp High 環境溫度高 開空調降低溫度 HV Supply Fault 高壓故障 重新啟動,聯系大族 Discharge 放電故障 聯系大族 Over current 超過設置流量 聯系大族