PRC激光器操作說明
發布時間:2019-05-08 17:23:38 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
1. 操作面板說明
圖4-12 PRC激光器操作面板
1急停按鈕 2控制電壓使能開關 3計時器
4 激光功率輸出顯示 5放電管電流顯示 6放電管選擇按鍵
7腔壓顯示 8耗氣量顯示及設置按鍵 9手動氣體回充按鍵
10工作狀態顯示 11報警診誤顯示 12報警檢查按鍵
復位鍵 14按復位鍵指示燈 激光器重啟指示燈
16功能鍵(F1:用于測試;F2:冷卻水流量;F3:檢測漏氣比;F4:用于維修;F5:快速啟動)
其它見表4-11。
表4-11 PRC激光器中英對照
Diagnostic Panel
Status Indicators 工作狀態顯示
Vacuum Pump On
真空泵啟動
Compressor On
壓縮機啟動
High Voltage On
高壓啟動
Faults報警診誤顯示
CO2 Supply Low
二氧化碳氣壓低
Vacuum Pump Overload
真空泵過載
Oil Temp High
油溫過高
N2 Supply Low
氮氣氣壓低
System Pressure
系統壓力過高
Enclosure Temp High
箱內溫度高
He Supply Low
氦氣氣壓低
Shutter Fault
光閘故障
H2O Temp High
水溫高
Air Supply Low
普氮低
Shutter H2O Flow Low
光閘水低
HV Supply Fault
高壓電源故障
Compressor Overload
渦輪機過載
H2O Flow Low
水流量過低
Discharge Overcurrent
放電極過流
Compressor Temp High
渦輪機溫度高
Inverter Fault
變頻器故障
Option 1
選擇1
Compressor Fault
渦輪機故障
Interlock Open
門開關打開
Option 2
選擇2
2. PRC激光器的操作順序總則
A:激光器啟動點
1) 紅光指示燈亮
2) 真空泵啟動,反回抽電磁閥打開。
3) 油泵開始啟動,油箱內閘流管燈絲點亮。
4) 進水電磁閥打開。
5) 快速抽空閥打開、壓力控制閥打開。
6) 箱內冷卻風扇開始轉動。
7) 第1組報警系統工作。
B:渦輪機啟動點:8Toor(光閘必須關閉,而且以下報警不能出現:水流低、水溫高、渦輪機溫度高、光閘水流低、高壓電源故障)
1) 渦輪機開始啟動
2) 混氣箱內進氣電磁閥打開,向系統提供耗氣量(CAL:400升/小時)
3) 快速進氣閥關閉,壓力控制閥關閉
4) 警示燈亮
5) 70秒后高壓計時器開始工作
6) 第2組報警系統開始工作
C:工作壓力點
1) 系統工作壓力達到100Toor,壓力電磁閥開始循環工作
D:高壓準備點(控制面板上顯示“HOLD”)
1) 渦輪機達到正常轉速225HZ
2) 70秒計時達到
3) 第3組報警系統開始工作
E:接通高壓
1) 警示燈閃亮
2) 啟動限制電路開始工作
3) 自動預熱程序開始工作,控制面板上“COLD”代替“HOLD”,5分鐘后預熱程序完成后,在
E點可由CNC控制激光器的電流、功率。在“CAL”期間,混氣箱以耗氣量400升/小時向激光器供氣持續20-30分鐘。
F:激光器耗氣量是在E-F點
G:激光器停機(激光器手動停機或者故障停機)
a. 主動關機
1) 高壓關閉
2) 渦輪機開始減速
3) 三種進氣電磁閥關閉
4) 警示燈滅
5) 進水電磁閥關閉
6) 箱內風扇停止停止轉動
7) 延時7秒鐘以后,壓力控制閥關閉,真空泵停止轉動,反回抽電磁閥關閉,閘流管燈絲滅,油泵停止轉動
b. 緊急停機
1) 1V和24V線路立即切斷
2) 系統立即處于保護狀態
3) 變頻器立即減速
c. 報警停機
1) 同a主動關機一樣
2) 變頻器剎車
3) 真空泵立即停止轉動
H:激光器再次啟動
1) 同A點
I:快速啟動(必須腔內壓力低于100Toor,光閘關閉,而且沒有以下報警出現:水流低、水溫高、渦輪機溫度高、光閘水流低、高壓電源故障)
1) 同B點
J:同G點
K:達到112Torr開始自動回充氣體
L:回充到740Torr壓力,回充停止
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