【正文】 序號 故障現象 故障分析 故障檢查、排除方法 1 ROFIN激光器上電屏幕不亮 檢查外部電源是否有問題，電源是否缺相及相序相序錯誤。 1. 用萬用表檢查激光器輸入電源，三相電有無380VAC電壓，如果有相線間無電壓，進行下步檢查 2. 檢查電源線電纜與電源總閘連接是否可靠或是松動，電纜線接口處有無過熱現象。如果有進行可靠的連接，及固定 3. 輸入電源三相電有電壓，激光器屏幕還是不亮，調換兩根相線相序 2 激光器按下低壓啟動MAINS ON，無法啟動。 1. 急停按鈕按下 檢查控制面板上的急停按鈕是否按下 2. 低壓按鈕有問題 用萬用表檢查MAINS ON 按鈕，按下松開是否有通斷并檢查是否有松動 3. 內部控制線路有松動 檢查激光器與電控柜連接線中，X42 ，X60 是否有松動沒有插緊 3 激光器功率無法外控 1. 調用脈沖方式或脈沖方式設置錯誤 檢查屏幕上調用的脈沖方式是不是所設定的調用方式比如：PROGR：P0 P0中設定0   100.0％ 1：A1 5000HZ 100％ 2. 機床控制功率模擬電壓沒有 機床設定模擬電壓輸出，用萬用表進行測量，如果沒有檢查這一路的線路，有無漏接或接錯線路 3. 功率模擬電壓接反 檢查功率控制模擬電壓線路的+ 電壓及0V電壓接反 4 內控方式高壓不能啟動 1. 控制方式沒有選擇手動 2. 有報警信息 1. 檢查操作面板控制方式的鑰匙開關打到手動位置 2. 查看激光器面板報警信息 5 GAS BOTTLE PRESSURE 1. 氣瓶壓力過低 2. 與氣瓶連接的壓力表一直到腔內的管路有漏氣 1. 激光器混合氣瓶內沒有氣 2. S26 測到氣瓶輸出壓力小于30＜bar ，用少量的肥皂水噴在管路接口處檢查有無漏氣，出現這種報警信息不會影響激光器的正常使用 GAS CHANGE IN MAX 24h 激光器腔內氣體已到時間 激光器換氣，換氣完成后一定要把氣瓶閥門關緊 PRESS/T. TELESCOPE 高純氮氣壓力低 更換外部吹激光器內鏡片的高純氮 SERVICE INTERVAL 服務間隔到期報警 2000/4000小時內聯系ROFIN授權人員進行維護 6000小時以上請ROFIN工程師進行維護 GAS CHANGE REQUIRED 必須更換激光器用氣 激光器換氣，換氣完成后一定要把氣瓶閥門關緊 INTERLOCK/DOORS 門控報警 檢查門控開關 ia OVER-CURRENT Ia 報警 1. C11 燒壞 2. 射頻管有問題 LASER-POWER LIMITS 激光器功率上限報警 1. 模式差調整激光器過濾器 2. 在切割反射率高的板材時，激光器功率用到功率，減小功率 PRESSURE RANGE 真空腔內壓力不在工作范圍 激光器換氣，換氣時冷水機的溫度要達到工作時溫度在進行換氣 TEMP.SHUTTER 光閘溫度報警 1. 切割反射率高的板材，有少量的光反射到光閘上，引起過熱現象 2. 溫度傳感器S33，S34，S35，S36 有問題，用萬用表檢測 TEMP.WATER 水溫報警 1. 冷水機出水溫度不在激光器工作范圍，檢查冷水機溫度 2. 檢查激光器內S22溫度傳感器 WATER FLOW 水流報警 冷水機水壓不夠 WATER FLOW RF TUBE 射頻管水流報警 檢查激光器內部去離子水