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油封式旋轉機械真空泵按照結構型式可分為定片式、旋片式、滑閥式（或柱塞式）、直聯式四種。除定片式真空泵屬淘汰產品外，其余三種結構型式的真空泵我國均有包括型式與基本參數在內的系列標準，即分別為2X系列、H和2H...
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定片式真空泵的工作原理如圖3-21所示。在圓柱缸體1內有旋轉的偏心轉子2，缸體上有滑片3，借助于彈簧4的作用壓向轉子，把缸體分隔成A、B兩個空間。隨著轉子旋轉角度不同，兩個空間體積交替增大或縮小而進行吸氣與排氣...
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1、冷凝板的熱負荷低溫泵中冷凝板的熱負荷來源于三個方面：（1）氣體冷凝的熱負荷2、周圍壁板的輻射熱負荷冷凝板支撐結構傳走的熱量可根據具體支撐結構、支撐材料及支撐板數目去計算。為了減少熱傳導，要求支撐板截面...
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①Z型系列油擴散噴射泵主要技術性能見表4-16②WZ系列臥式擴散噴射泵技術性能見表4-17。該系列臥式擴散噴射泵為新型泵，具有先進的結構和優良的技術性能。主要特點：a.主泵擴散級為立式結構，噴射級為臥式;能量損失小...
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Z系列油擴散噴射泵抽氣速率與人口壓力關系曲線如圖4-29所示。
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低溫泵啟動時，通常先將液氮屏蔽板溫度降低到工作溫度TB設t=0時，屏蔽板和周圍表面均處于溫度Tw，利用制冷機冷凍介質的循環，經過時間tc后使屏蔽板的溫度降到工作溫度TB，周圍環境溫度仍為Tw。tc便為啟動時間，可以從下...
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①單級旋片式真空泵的工作原理(圖3-22)。單級旋片式真空泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在定子缸內偏心地裝有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁（轉動后還有旋片離心力）...
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滑閥式真空泵的結構主要由泵體及內部作偏心轉動的柱塞部件、半圓形的柱塞導軌、排氣閥、軸等組成，如圖3-24所示。泵體中裝有“滑閥”環4，滑閥環內裝有偏心輪3，偏心輪固定在軸2上，軸與泵體中心線相重合。...
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低溫泵長期工作會因霜層過厚，產生較大的溫度梯度。隨著溫度梯度增加，泵的抽速將迅速衰減。霜層溫度高于20K時對N2的抽氣效果影響很大。溫度在23.7K時，N2的飽和蒸氣壓為10-6Pa．27K時為10-4Pa，而要獲得10-8Pa的真空...
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①蘭州真空設備有限公司生產的Z系列油擴散噴射泵外形及安裝尺寸見表4-19。
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油擴散真空泵(簡稱油擴散泵)是用來獲得高真空或超高真空的主要設備。它廣泛用于電子工業、化學工業、真空冶金、真空熱處理、真空鍍膜設備、原子能工業以及空間模擬設備等高科技領域中。油擴散泵的工作壓力范圍為...
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1961年，有人發現低溫泵在抽除冷凝氣體的同時，殘余的非冷凝氣體也一起被排除了，而且非冷凝氣體的排除量比物理吸附的量還大。后來又有人發現，用77K冷凍面抽除冷凝氣體C02時，非冷凝性氣體N2也被抽除了。如果用77K的...
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直聯泵是容積式真空泵的一種，它利用轉子在缸內的高速旋轉和滑片在轉子槽內的往復運動以改變工作室的容積進行抽氣。該泵的主要結構如圖3-25所示。直聯泵為雙級結構，兩級前后串聯，被抽氣體逐級被壓縮后，推開排氣閥...
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油封旋片式真空泵行業標準（摘自JBtl-6533-97）。①范圍：本標準適用于雙級油封旋片式真空泵（以下簡稱泵）；②定義：本標準采用下列定義：a．抽氣速率S。當泵裝有標準測試罩并按規定條件工作時，從測試罩流過的氣體流量與...
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典型的小型制冷機低溫泵的泵體結構如圖5-57所示。兩級制冷機冷頭通過法蘭直接插入到泵殼內。屏蔽板及入口障板與制冷機一級冷頭相連，工作溫度在70K～80K。屏蔽板的作用有二：除可以冷凝抽除H20、C02等氣體外，主要是...
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