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ZJ,ZJL,LQ型羅茨泵外形與安裝
ZJ,ZJL,LQ型真空泵外形及安裝尺寸詳見下圖:
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ZJ,ZJL,LQ型羅茨泵性能曲線
ZJ型羅茨泵性能曲線詳見下圖:ZJL型羅茨真空泵性能曲線詳見下圖:LQ型羅茨泵性能曲線詳見下圖:
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油擴散泵臨界前級壓力的測定裝置
①測試罩如圖4-48所示,應符合JB/T8472.1-96(2)中測試罩的規定。②測試裝置的組成測試裝置如圖4-50所示,需要下列設備:a.將氣體引入測試罩的進氣微調閥(A)與適宜的氣體流率測量儀相連接。b.設于前級泵入口附近的進...
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油擴散泵臨界前級壓力的定義
①臨界前級壓力一般工況,對于泵穩定工作時相應的氣體流率,臨界前級壓力是符合下述條件的諸前級壓力的z*小值:這些前級壓力微小的增高率都使吸入壓力產生規定的增高率。實際應用中,此規定的增高率的z*小值是10%。若...
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真空密封的概述
真空設備為了隔絕大氣,它的各個部件的連接處、電源和信號的引入端、轉動軸、觀察窗、大門、蓋等地方,都應有可靠的真空密封。真空設備的密封性能是真空設備的重要指標,要求通過各種密封途徑將漏氣率限制在允許的范...
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渦輪分子泵概述與發展
渦輪分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。工作壓力范圍為1Pa~l0^-8Pa,抽氣速率一般在5000L/s以下。先進的渦輪分子泵可以獲得10^-9Pa的極限壓力,渦輪分子泵的轉速為10000r/min&md...
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渦輪分子泵結構原理
渦輪式分子泵的結構示意圖和渦輪葉片展開圖,如圖3-72及圖3-73所示。渦輪式分子泵的轉子和定子都裝有多層渦輪葉片,轉子與定片葉片的傾斜面方向相反,每一個轉片處于兩個定片之間。分子泵工作時,轉子高速旋轉,迫使氣...
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油擴散泵臨界前級壓力的測試條件
測試報告應包括測試期間下列條件的說明:①全部試驗儀器的類型和工作條件;②泵的加熱功率及測試過程中的變化情況;③在測試期間如果用水或冷劑冷卻蒸氣流泵,其z*高與z*低進、出口溫度;④如果用水冷卻,其流率;⑤測試...
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油擴散泵臨界前級壓力的測定程序
①概述為了測量臨界力前級壓力,蒸氣流泵應按制造廠規定的泵液種類及用量、加熱功率以及冷卻條件進行正常工作。測試過程中,室溫應在15℃-25℃之間,測量前,泵應達到熱平衡并抽至極限壓力。在這些條件下,泵人口以上...
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真空密封用橡膠的概述
用于真空密封的橡膠(塑料)材料,除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外,還要有低的出氣率、揮發率和透氣率,良好的耐熱性、耐油性,抗老化和適宜的耐壓縮變形值(小于35%)及壓力松弛系數(不小于0.65)。z*常用于真空密...
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橡膠密封中橡膠的一般特性
靜密封是指連接件不能做相對運動的密封。對于低真空和高真空,可拆靜密封一般采用彈性很大的橡膠做密封材料。超高真空的可拆靜密封由于受高溫烘烤和出氣率的限制,通常都使用軟金屬做密封材料。橡膠密封在真空設備...
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渦輪分子泵相關定義與型號表示
1.渦輪分子泵相關定義①渦輪分子泵抽氣速率。渦輪分子泵在正常工作條件下,單位時間內被抽氣體通過測試罩流經分子泵進氣口的體積,即氣體流量與測試罩規定位置測得的平衡壓力之商。②渦輪分子泵極限壓力。渦輪分子...
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渦輪分子泵基本參數與技術要求
渦輪分子泵的基本參數見表3-103。渦輪分子泵技術要求①渦輪分子泵的主耍技術性能應符合表3-103和按規定程序批準的設計圖樣要求。②渦輪分子泵在下列環境條件下應能正常工作:a.環境溫度為4℃~40℃;b.空氣相對濕度...
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油擴散泵臨界前級壓力的測定報告
在測試結果中,臨界前級壓力的單位是Pa,氣體流率的單位是Pa.L/s。除另有規定外,臨界前級壓力與氣體流率間的關系曲線應在坐標圖中表示。(1)中的①所述以確定臨界前級壓力的泵口吸入壓力增高率,應在圖中表示出來。在...
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油擴散泵加熱時間和功率的測試裝置
(1)術語①加熱時間指開始接通泵的加熱電源到泵起抽氣作用時的時間間隔。②加熱功率指泵在正常工作時,其加熱器所消耗的電功率。③測試罩指裝在泵入口處的、具有規定的型式和尺寸的容器。測試氣體通過罩充入泵內,其...
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