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機械設備
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XG-6型干式旋片泵采用直聯式，結構緊湊；在進排氣口分別安裝了過濾器網，保證了吸入和排出的氣體干凈。在吸氣口處還安裝了真空表和調節真空閥門，可根據需要調整泵的入口壓力。該泵的z*大特點是可獲得清潔的粗真空，適...
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真空密封中，超高真空平面法蘭型式、尺寸如下表6-31平面法蘭是金屬密封法蘭型式中z*簡單的一種，如圖6-17所示，其密封面沒有配合問題，表面粗糙度(Ra1.6—Ra0.25)容易達到。主要缺點是密封圈的定位問題不易解決，...
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①測試氣體除另有規定外，應使用干燥空氣。②環境溫度除另有規定外，測試過程應在15℃～25℃內的某一溫度下進行，并允許波動±1℃。③泵的加熱和冷卻泵的加熱功率和冷卻條件，按制造廠的規定。加熱功率應維持穩...
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真空密封中,圓錐端面密封面的表面粗糙度要優于Ra1.6，上、下兩個錐面角度要吻合一致才能保證可靠密封。常用密封圈的材料有銅、鎳、鋁、不銹鋼（適用不銹鋼法蘭）。法蘭材料可用碳鋼、不銹鋼。
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爪式真空泵屬于變容式真空泵，從使用壽命所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，在結構上多采用多級爪式轉子串聯，或羅茨轉子與多級爪式型轉子串聯，組合成多級爪式真空泵。多級爪式真空泵的抽氣過程示意圖如...
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目前國內外爪式真空泵已有系列型號產品生產，其主要特點可概括為以下幾個方面：①轉子在泵腔內懸浮，無任何摩擦，泵腔內無任何潤滑油，因而無返油現象發生，并可實現高速運轉，一般為3000r/min。②可在105Pa壓力下啟動，...
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刀口密封，屬于真空密封中的常見金屬密封。(見表6-34)密封圈為0.5mm的環形銅皮或鋁片，密封力為280MPa，能耐450℃烘烤，可承受多次加熱——冷卻循環而不漏氣。但配合精度要求高，只用于小尺寸法蘭密封。
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測試報告內容如下：①注明下列測試條件：a.真空計及其規管的型號和校準情況;b.泵的加熱功率及其在測試過程中的變化情況;c.泵液的牌號及數量;d.泵的冷卻水進、出溫度及流量;e.配用前級泵的型號及抽速;f.環境溫度及大...
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真空室是真空設備的主要部件之一。真空設備的生產工藝過程都是在真空室中進行的。真空室中裝有不同的部件，可以完成各種不同的工藝要求。如真空室中有蒸發金屬的部件，就可蒸鍍金屬薄膜;真空室中有感應加熱部件，就...
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直角形密封，屬于真空密封中的常見金屬密封。(見表6-33)圖6-20為L型密封。密封臺階間隙0.025mm，以保證密封圈受壓后呈L形。下法蘭臺階利于0形圈定位，表面粗糙度優于Ra1.6，0形圈壓縮量為50%，常用0形圈金屬絲直徑為0...
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斜楔密封，屬真空密封中的常見金屬密封。(見表6-21)斜楔密封(conflat)的刀口角度為70°，高度為1mm~1.5mm，深度公差為±0.075mm～0.1mm，刀尖圓角半徑為0.1mm，刀口直徑誤差為0.05mm，墊圈材料為寬6mm、厚2mm～...
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臺階密封，屬真空密封中的常見金屬密封。(如圖6-22)臺階密封是利用兩直角的剪切力剪切出新鮮金屬面造成密封的。兩直角的剪切有兩種基本形式，即相疊（左圖）和相隔（右圖）。墊圈材料是無氧高導銅，厚度為1mm～3mm。制作...
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各類真空室均設置有門，其目的之一是便于在室內安裝各種機構，其二是用于取送物料及材料。門通常是由密封法蘭、門板、門鉸鏈、密封圈預緊機構等組成的。門板有凸形的和平板形的，視真空室殼體結構而定。門有圓形和矩...
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真空室水冷形式有兩種：一種是將水管螺旋式地焊在真空室外壁上，另一種是真空室外壁加冷卻水套(如圖8-3所示)。真空室熱負載大時用冷卻水套冷卻，熱負載小時用水管冷卻。有時兩種形式混合使用。選擇哪種冷卻方式，依據...
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