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機械設備
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橡膠在低溫下彈性消失，變得硬而脆。氟橡膠玻璃化溫度Tg值：維通A為一20℃(在動態下的使用溫度下限為-29℃)，國產氟橡膠26-41為一17℃;而脆性溫度Tb值與試樣厚度有關，維通A在厚度為187mm.0.63mm.0.25mm時分別為-45℃...
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普通真空膠管、膠棒和膠板適用的溫度范圍為-40℃～50℃，真空度為10-4Pa。尺寸規格見表6-19、表6-20。
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渦輪分子真空泵特性曲線：F系列渦輪分子真空泵抽速與進氣口壓力曲線如圖3-74所示。渦輪分子真空泵外形及安裝尺寸：F型渦輪分子泵外形及安裝尺寸分別如圖3-75～圖3-77所示；耐腐蝕渦輪分子泵F-160/450N如圖3-78所示；FF...
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①F型立式渦輪分子泵技術性能見表3-105。②F型渦輪分子真空泵技術性能見表3-106。③FD系列分子泵電源見表3-107。④FD-110、FD-110A型渦輪分子泵電源技術性能見表3-108。⑤B系列渦輪分子泵電源技術參數見表3-109。...
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本標準適用于真空法蘭密封的橡膠密封圈。橡膠材料在-30℃～90℃使用應滿足下列要求：硬度(HS)：40～60；抗油強度：中等；放氣率小于5×10-4PaL·S-1．cm-2，尺寸見表6-29。表6-29標準密封圈及密封槽尺寸(單位：...
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油擴散泵加熱時間和功率的測試方法：①加熱時間的測試啟動并接通前級泵，預抽被試泵及測試裝置系統。經微調閥控制測試罩內壓力為1OPa，然后測得自接通被試泵加熱器電源到罩內壓力降至10-lPa所需的時間，這段時間即為...
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真空密封：真空設備為了隔絕大氣，它的各個部件的連接處、電源和信號的引入端、轉動軸、觀察窗、大門、蓋等地方，都應有可靠的真空密封。真空設備的密封性能是真空設備的重要指標，要求通過各種密封途徑將漏氣率限制...
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油擴散泵加熱時間和功率的測試條件：①測試氣體除另有規定外，應使用干燥空氣。②環境溫度除另有規定外，測試過程應在15℃～25℃的某一溫度下進行，并允許波動±l℃。③泵的加熱和冷卻泵的加熱功率及冷卻條件按...
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在半導體產業為主要應用對象的干式泵，會在許多抽氣工藝過程中出現一些顆粒物，一般說來，在干式真空泵中出現顆粒物有下列三種情況：①當泵內壓力增高時引起氣固變相過程的發生；②在泵內產生反應氣體的生成物；③抽氣...
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當代真空技術在半導體工業、電子工業、薄膜制備等工藝過程中的應用，迫切要求無油蒸氣污染的清潔真空。此外在這些制造工藝中，被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒，嚴重影響油封泵的使用壽命。因此，近年來世界各國...
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油擴散泵加熱時間和功率測試報告內容如下：①列出油擴散泵加熱時間及加熱功率的測試數據。如果被試油擴散泵采用大小不同的兩種功率分別作為啟動功率及正常運行功率，則應特別說明。②注明下列測試條件：a.真空計及其...
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(1)真空泵液返流率測試裝置相關術語①真空泵液返流率泵按規定條件工作時，在單位時間內通過真空泵人口單位面積并與被抽氣體流動方向相反的真空泵液質量流量。②測試罩指裝在真空泵入口處的，具有規定的型式和尺寸的...
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真空密封材料中，氟塑料是四氟乙烯的聚合物，為白色或灰白色的半透明物質；化學穩定性好，不被酸堿腐蝕，不燃燒，不溶于任何一種溶液，不吸水也不被浸潤；有優良的電絕緣性能，可以高速切削加工；能耐200℃工作溫度，在100...
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真空密封材料中，橡膠密封圈的主要缺點是不耐烘烤且在室溫下放氣量大，所以許多要求高溫烘烤(>200℃)和只準使用低蒸氣壓(室溫時蒸氣壓<10-10Pa)材料的超高真空系統裝置，不能使用橡膠密封，而需用金屬密封圈密封。真...
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干式旋片真空泵屬于變容式真空泵，其工作原理與有油的旋片真空泵基本一致。圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖。干式旋片泵的轉子偏心地置于泵殼內，上端靠近泵殼內，形成進排氣口間的密封。當電機帶動轉子轉動時，...
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