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真空系統z*小可檢濃度
表征儀器對氣體混合物中所能測量的某一組分的z*小值。通常用Pz*小/P全表示,這里,Pz*小為氣體混合物中某一組分的z*小分壓力,P全為氣體混合物的全壓力。
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真空檢漏的目的
對于大多數真空系統、容器、器件來說,如果真空抽不上去,s*先應判斷漏氣是不是主要因素,然后確定是否需要進行檢漏。真空檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢工件的器壁的某一側,用儀器或...
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真空檢漏之z*大允許漏率
真空系統或真空容器的漏氣是絕對的,不渦氣是相對的。真空檢漏技術中所指的“漏”的概念,是和z*大允許漏率的概念聯系在一起的。對于動態真空系統來說,只要真空系統的平衡壓力能達到...
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真空容器或器件中的漏孔形式
真空容器或器件中的漏孔形式大致有以下幾種:①細圓管狀;②斷面復雜的管狀;③隙縫;④連在一起的多孑L組織;⑤由細管或隙縫把空穴連接起來的組合結構。圖13-1給出幾種漏孔的實例。
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漏孔大小的表示方法
真空技術中所指的漏孔由于尺寸微小、形狀復雜,無法用幾何尺寸來表示其大小,所以一般用等效流導或者漏氣速率(簡稱“漏率”)來表示其大小。用漏率來表示漏孔的大小時,如果不加特別說...
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真空檢漏:漏孔
真空技術中所講的漏孔是指當封閉的容器內部與外部的氣體壓力或濃度不同時,可以使氣體由器壁的一側泄漏到另一側去的小孔、缺陷或隙縫以及滲透元件或漏氣裝置。z*容易產生漏孔的情況是:各種焊...
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氣體通過漏孔的時間
氣體通過圓管狀漏孔的平均速度。當漏孔直徑矗d=5μm,長度L=0.5cm,p=100kPa時,QA≈l0^-3Pa·L/s,=70cm/s,因此氣體通過該漏孔的時間近似等于7×10^-3S。由此可見,檢漏時氣體...
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漏率及漏率單位
漏率也叫漏氣速率,系指處于高壓力或高濃度下的氣體,在單位時間內通過漏孔流向低氣壓端(或低濃度端)的氣體量。表示漏率單位的量綱是[壓力]·[體積]/[時間]。常用的漏率單位是Pa·...
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漏孔的氣流特性
氣體由高壓力端通過漏孔向低壓力端的流動可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態。對于均勻圓截面導管型漏孔來說,其漏率為:從式(13-5)不難看出,漏孔的漏率與下列因素有關:①漏孔的幾...
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標準漏孔
標準漏孔是指一個在給定條件下能向真空系統內提供已知的氣體流量的裝置。一般要指明這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力條件。如不特別指明時,就是指溫度為23±7℃、入口壓力為...
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標準漏孔的分類及特點
標準漏孔的分類方法有兩種:一種分類方法是把標準漏孔分成實漏型的和虛漏型的。屬于實漏型的標準漏孔有金屬壓扁型標準漏孔、玻璃一鉑絲型標準漏孔、玻璃毛細管型標準漏孑L等。屬于虛漏型的標...
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金屬壓扁型標準漏孔
此種漏孔通常是用無氧銅管或者可伐管用模具壓制而成,制做簡單,性能穩定,不易堵塞,漏率為10^-3Pa.L/s—l0^-5Pa.L/s。具體結構如圖13-3所示。
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薄膜滲氦型標準漏孔
z*早使用的薄膜滲氦型標準漏孔是石英薄膜滲氦型標準漏孔,它是國外用于校準氦質譜檢漏儀靈敏度的z*通用的一種標準漏孔。帶氦室的石英薄膜滲氦漏孔(如圖13-2所示)的漏率一般為10^-2Pa·...
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玻璃鉑絲型標準漏孔
利用鉑絲與硬質玻璃的非匹配封接可得到漏率恒定的漏孔,具體結構如圖13-4所示。一般來說,當鉑絲直徑d=0.1mm—0.15mm,封接長度L=5mm—l0mm時,可以得到漏率為10^-4Pa.L/s數量級的分子...
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玻璃毛細管型標準漏孔
此種漏孔是用局部拉細的玻璃毛細管制成的,漏率為l0-4Pa.L/s—l0-5Pa.L/s,漏率穩定,結構如圖13-6所示。
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