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通常，指標高于10^-9Pa的四極質譜計的z*小可檢分壓力測試方法按下述步驟進行：①將測試系統抽至極限壓力后，向測試系統充入氖氣，使電離計指示壓力高于極限壓力(1～2)倍。記錄氖分子離子峰20u的離...
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四極質譜計z*大壓力測定可按下述步驟進行：①按分壓靈敏度測量方法，調節進樣微調閥，記錄測試系統壓力p和對應的離子流J;②繪制靈敏度一壓力曲線，對應50%靈敏度時的壓力確定為z*大工作壓力。
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四極質譜計基本參數設計依據儀器指標要求，根據加工條件和電子元器件進行折衷設計。以真空測量用的小型四極質譜計為例，設計指標設定為：質量范圍1u～50u;分辨本領為M/AM=50;z*小可檢分壓力為10...
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表征儀器長期工作條件下質譜探頭及電路穩定性。四極質譜計的峰強穩定度測量可按下述步驟進行：①測試系統抽至極限壓力，向系統充入氮氣，使壓力增高約兩個數量級;②調整儀器工作參數，保證對氮分...
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z*小可檢濃度可采用已知濃度的標準混合氣體測量或采用已知的同位素豐度比進行測量：①測試系統抽至極限壓力，向系統充人一定壓力標準混合氣體，標準氣體中被測組分的壓力分數為CO;’②調整...
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由于四極質譜計錄敏度變化因素很多，給定量測量帶來很大困難，必須在進行大量實驗的基礎上，對儀器進行校準后才有可能進行定量測量。利用標準混合氣體校準方法，進行系統中的濃度測量已經得到較...
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利用質譜計的模擬掃描模式(或棒掃描)在儀器的工作質量范圍內，選擇適當的參數對系統進行全譜掃描，記錄系統殘余氣體的全譜圖。一般掃描高真空系統全譜的質量范圍選擇lu～100u就夠了。小型質譜計...
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四極質譜計的工作原理是由Paul等在1953年s*先提出的，而后，在1955年又介紹了按此原理研制的實際儀器。1960年文獻[289]介紹了一臺冷陰極的真空分析的四極濾質器。幾乎同時，于1963年我國研制出...
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它表征儀器分辨M和M+AM兩個相鄰峰的能力，通常用M/AM表示。由于作為殘氣分析的真空質譜計不需要很高分辨本領，所以，通常在10%或50%峰高處確定參考基線來測量AMo特殊使用條件下，可在5%或1%峰高...
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1.質譜儀由分析場將離子束分離成不同質荷比的組分，并在整個立體角上同時記錄各種質荷比離子的儀器。2.質譜計借助于改變分析場的工作參數來記錄質譜的儀器，即，質譜的記錄利用了時間因素。此外...
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分壓力靈敏度是衡量質譜計探頭部分檢測靈敏度的指標。與熱陰極電離規相似，分壓力靈敏度常數定義為式△AI+——被檢測的某一種氣體組分離子流的變化量[A];APp——離子源內...
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質譜計在一定的靈敏度和分辨本領條件下，能夠工作的質量數上限和下限之間的范圍。質量數下限通常用真空系統殘余氣體峰(如原子態氫離子峰)質量數為1來確定。上限可以用氣體相對分子量接近上限...
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z*小可檢分壓力反映質譜計探頭的分壓力靈敏度和測量儀器檢測離子流信號的綜合指標。對于規定的氣體的z*小可檢分壓力是檢測一個等于兩倍噪聲的離子流輸出信號(即信噪比為2)。
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質譜計在不同應用條件下允許工作的z*大全壓力極限。一般這項指標是對質量數28的氮峰測定的。在定性分析中，z*大工作壓力通常定義為，在該壓力下儀器的分壓靈敏度下降到線性值的一半，或定義為J...
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真空系統中漏氣流量的平衡表示式如下式中p-系統達到的壓力;Po-真空泵的極限壓力;S-系統的有效抽速;Qo-由系統外部流向系統內部的總漏率;EQi——虛漏所形成的總“漏”率。...
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