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真空壓力的定義是垂直作用于表面上且均勻分布的力與單位面積之比。公式1-3：壓力定義：P壓力[Pa]；F受力[N];1N=1Kgms-2；A面積[m2]在封閉的容器中，氣體顆粒進行熱運動。在其與容器壁的相互作用中...
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每種材料都是由原子和分子組成。根據定義，物質的量以摩爾表示。一摩爾的物質含有6.022·1023個構成粒子（阿伏伽德羅常數。這不是數值，而是具有單位mol-1的物理量）。1摩爾的定義是系統物...
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分子數密度從公式1-7和公式1-8可以看出，壓力與粒子數密度成正比。由于標準條件下每單位體積的粒子數目較高，其遵循（例如，每立方厘米為26,500個分子）壓力將仍然存在的原則。這就是為何不可能談...
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封閉在容器中的氣體分子完全隨機地相互碰撞。并在過程中傳輸能量和脈沖。這種傳輸導致速度和/或動能的分布。速度分布與在z*概然速度時具有峰值的鐘形曲線（麥克斯韋—玻耳茲曼分布）相對...
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平均自由程如果在房間的角落打開香水瓶，需要很長時間才可在房間的相反角落處檢測到芳香氣體物質。這一實驗似乎與前一章節中描述的平均氣體速度相矛盾。出現這種情況的原因在于氣體粒子在其路...
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平均自由程與流道之間之比可用于描述流體類型。該比率被稱為克努森數：克努森數的值表示氣體流量的類型并將其分配到特定的壓力范圍內。表1.7給出了真空技術中各種流動類型以及其顯著特性參數...
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pV氣流量用一般氣體方程（公式1-6）除以t時間求出氣體流量從方程的右邊可以看出，恒定質量的流量在恒溫T時被置換。這也被稱為pV流量或氣體吞吐量。吞吐量是真空泵輸送的氣體流量。1.8中給出了各...
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一般而言，真空腔體都是通過管道連接至真空泵。流阻的產生是氣體分子與壁面之間的外部摩擦以及氣體分子之間的內部摩擦（粘性）的結果。該流阻以壓差和體積流量或抽速損失的形式表現出來。在真空...
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如果一個孔口連接兩個容器，其中存在分子流條件（即：如果平均自由程遠遠大于容器直徑），則以下適用于每單位時間內置換的氣體量qpV該公式用于確定真空泵z*大可能的抽速，該真空泵具有入口A。因此，...
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讓我們考慮下真空腔體的排氣。當放氣閥打開時，環境空氣在壓力p下以高速流進容器。達到的流速不超過聲速。如果氣體已經達到聲速，在容器可排空時，也已經達到了z*大氣體吞吐量。流經它的吞吐量...
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污染當對真空室進行抽空時，真空室必須干凈，以盡快達到所需壓力。真空系統典型的污染物包括■■生產真空系統產生的殘渣表面、螺絲釘和密封件上的油脂■■與應用相關的污染物過程反應產物、灰...
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冷凝和蒸發所有物質都可出現液體、固體或氣體狀態。他們的聚集狀態是壓力和溫度的作用。液體通過蒸發轉化為氣態，固體通過升華轉化為氣態。將液體或固體從氣相分離出來稱為冷凝。由于正常的環...
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除水之外，其他物質，如真空泵工作也可吸附在表面。物質也可從金屬壁中擴散出來，這在殘余氣體中可檢驗出來。在特別嚴格要求的情況下，不銹鋼容器可在真空條件下烘烤，從而促使大多數揮發性成分從...
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烘烤為實現超高真空范圍(<10-8hPa)內的壓力，必須滿足以下條件：■■真空泵的底壓應該低于所需極限壓力的10倍。■■真空室和部件所使用的材料必須針對z*小出氣量進行優化，并且具有適當的表面處...
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殘余氣體組成在超高真空中工作時，重要的是，在開始真空工藝之前或為了監控工藝，需要了解殘余氣體的組成。水的百分比(m/e=18)及其不完整部分OH(m/e=17)在真空室不干凈或烘烤不徹底的情況下降會...
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