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標準泵的特征性能數據如Table4.19所示。這些性能數據也適用于所有其他系列。z*大差壓是溢流閥產生的結果。在ATEX系列中，z*大差壓小于其他系列，以便滿足ATEX準則規定的溫度要求。這些泵的殼體...
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ATEX系列可用于存在潛在爆炸危險環境中的工藝，或用于排空爆炸氣體。ATEX系統可提供抽速范圍從500m3·h-1到4,000m3·h-1。它們是PTFE密封的且由GGG40.3球墨鑄鐵制成。它們符合指...
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M系列可用于對密封有z*嚴格要求且要求z*長維修間隔的工藝。該系列的大部分與標準系列相同，但是，其特點是額外的嚴密密封的磁耦合代替了徑向軸密封環。這意味著，它在操作中基本無磨損。泵的整...
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ATEX系列可用于存在潛在爆炸危險環境中的工藝，或用于排空爆炸氣體。ATEX系統可提供抽速范圍從500m3·h-1到4,000m3·h-1。它們是PTFE密封的且由GGG40.3球墨鑄鐵制成。它們符合指...
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氣體循環冷卻羅茨泵可在無前級泵的情況下進行操作。大的壓力范圍和非常高的差壓是該類型泵的理想操作條件。在高差壓下可連續操作，因為通過壓縮加熱了的氣體在壓力側冷卻并部分反饋到吸入室。...
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刺盾插入件作為配件提供，用于OktaLine系列羅茨泵。以下各種油可用作潤滑劑，用于潤滑齒輪和軸承（Table4.11）：■■礦物油P3（0.5l至200l容器）■■全氟聚醚F5（0.5l至50l容器）■■二酯油D1（0.5l至...
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質譜法是z*流行的分析方法之一。質譜儀通過在真空下測量分壓來分析化學物質的組成。圖6.1：總壓和分壓測量這一分析通常在研發領域和日常生活用品的生產中進行。■研究與開發催化研究藥物開發...
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由于其簡單、堅固的設計，扇形場質譜儀用于氦氣檢漏儀。它們的質量范圍限制在2u（氫分子）和4u（氦原子）之間。這使得可以構建小型、緊湊但非常強大的質譜儀。工作原理扇形體質譜儀的工作原理如F...
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檢測氦氣的扇形場質譜儀現在集成在具有自動控制真空系統的泄漏檢測儀里。因此，操作者不必擔心質譜儀的功能能力。我們提請您注意內表面的清潔對保持高檢測靈敏度的重要性。■當有散射離子撞擊...
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四極桿質譜儀的過濾系統包括四個平行排列成正方形的桿。Figure6.5中指定了(+)或(-)的每對相反桿彼此連接在一起。在兩對桿之間，施加由直流部分U和振幅為V、頻率為的交流部分組成的電壓：公式6...
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在氣體可在質量過濾器中進行分析之前，它們s*先必須在離子源中通過電子撞擊進行電離（圖6.6）。電子從電加熱的陰極（金屬絲）中發射出來。在陽極和陰極之間施加電壓，從而使電子加速。存在于陽極和...
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所有離子源的共同特點是它們可以連接至高達150V的電勢。這避免了因EID離子導致的信號背景，（EID=電子碰撞解吸，也稱為：ESD=電子誘導脫附）。軸向離子源該離子源的特點是其極其堅固的機械設計和...
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離子源用于檢查UHV或者甚至XHV應用中的殘余氣體。其極其開放的結構和材料的選擇確保了非常低的內部氣體排放。該離子源配備了兩個可同時加熱脫氣的鎢絲。如果在低于10-11hPa的壓力下執行工作，...
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交叉束離子源（Figure6.11）允許垂直和平行于系統軸的分子束直接通行。系統使用預先選定的能量(0–120eV)從左側或右側金屬絲(1)將電子發射到形成區域(3)。金屬絲電勢處的維納爾圓柱電極(...
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一些上述離子源也可用在氣密版本中。如果只提供少量的樣氣或如果殘余氣體產生的信號背景需要有效地被抑制，則使用氣密離子源。在這種結構中，進氣系統（如加熱毛細管）和離子源必須相互匹配。通...
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