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在半導體行業中，微電子元件構建在單晶體的平面上。在生產過程中，具有特定電性能（絕緣子、導體和具有一定導電性能的層）的層被應用在彼此的頂部。由于相鄰層的不同性能，創造了諸如晶體管、電容...
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在該泵中，兩個同步反向旋轉的轉子(1)在單個殼體(2)中非接觸旋轉（Figure4.11）。該轉子具有8字形結構，且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉子位于轉子軸上。每個轉子腔通過帶有噴氣口的定...
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腐蝕性氣體版本的多級羅茨泵的優勢包括：■■通過調節溫度、凈化氣體吞吐量和轉速對相關真空工藝進行理想的調節■■在氣體置換區域沒有潤滑劑■■無工作液處理問題■■高可靠性和系統正常運行...
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預真空鎖和非腐蝕性氣體ACP120是水冷式多級羅茨泵的入門級機型。ACP系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。然而，ACP系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下，使用惰性氣體，其中，...
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在涂層工藝中，特別是在平面屏幕半導體生產和太陽能行業中，如本章介紹中所說明的一樣，真空泵的耐蝕性具有重要的意義。除工藝兼容性外，占用空間小和低運營成本是特別重要的泵體參數。與先前型...
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化學工藝的持續發展，特別是在半導體和太陽行業中，對所用真空泵不斷地提出新的要求。基于多級羅茨泵的可靠技術，普發真空憑借其H系列為這些行業領域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵...
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地震托架套件地震托架套件使泵能夠固定在其操作位置上，并防止因地震產生的位移以及防止前真空管道脫落。遙控遙控允許在泵的集成存儲器上設置和保存泵參數。泵參數可實時顯示。接口泵和系統控...
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工作原理單級羅茨泵的工作原理相當于第4.5節中描述的多級羅茨泵的工作原理。在羅茨真空泵中，兩個同步反向旋轉的轉子(4)在殼體中非接觸旋轉（Figure4.16）。該轉子具有8字形結構，且相互之間以及...
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前級泵單級或兩極旋片泵或外部葉片泵用作油潤滑前級泵。螺桿泵或多級羅茨泵可用作干式前級泵。諸如此類的泵組合可用于在低、中真空范圍內要求高抽速的所有應用。液環泵也可額用作前級泵。氣...
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氣體循環冷卻羅茨泵和前級泵抽速和壓縮比抽速和壓縮比是羅茨泵的特征性能數據。理論抽速Sth=S0是泵在無反壓力下置換的體積流量。在無氣體置換（入口法蘭關閉）操作時的壓縮比K0取決于出口壓力...
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由于其低壓縮比，羅茨泵必須始終作為泵組合進行操作，用于產生真空。它們可實現的z*終壓力將是所選前級泵極限壓力產生的結果。由于通過吸附的氣體輸送，在范圍低于10-4hPa下使用羅茨泵不再可行...
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如果因工藝對功能產生不利影響的可能性不大，則旋片式真空泵是羅茨真空泵站z*具成本效益的前級泵。在恒定抽速下，旋片式真空泵在廣泛的壓力范圍內具有極限壓力大約為p<1hPa。在氣鎮閥開啟時，羅...
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液環真空泵液環真空泵是抽出蒸汽的合適解決方案，此類蒸汽以化學方式侵蝕和分解前級泵油或具有如此低的蒸氣壓以致無法避免前級泵內發生冷凝，盡管有氣鎮。然而，它們將只實現通過工作液蒸氣壓確...
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由于羅茨真空泵在技術上是干式泵，所以建議在其附帶的液封吸入室的泵不能使用時使用該泵。它們的應用包括：■■萃取和壓縮低溫恒溫器上的氦■■萃取和壓縮SF6■■各種各樣工藝中各種氣體和蒸汽...
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螺桿泵憑借HeptaDry螺桿泵，在技術上可提供完整產品線的干式泵，其提供抽速范圍為100至600m3·h-1。作為獨立泵（也見圖4.4），它們在低、中真空段中涵蓋了廣泛的壓力范圍。由于其內部壓縮，...
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