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讓我們以4升容積的自行車內胎為例。它已充氣至壓力為1bar(3000hPa)，在無任何額外充氣的情況下，30天后z*大壓力損失應為1bar(1000hPa)。在1.3.3中已經定義了泄漏率：（公式1-35）。我們發現，具有...
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說到真空，真空是什么？實際上真空是一種不存在任何物質的空間狀態，是一種物理現象。對于空調來說，抽真空是空調生產、安裝和維修過程中，充注制冷劑前的一個必不可少的重要工序。具體做法是用真...
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用于泄漏檢測的測試氣體（也稱為示蹤氣體）應該滿足以下條件：它們應該■對人類、動物和環境無毒■不取代空氣，因為危險情況，如窒息，可能會發生。■是惰性的，即反應遲緩，且應該沒有化學反應，也不...
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水環真空泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。水環真空泵和其它類型的真空泵相比有如下優點：1.由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損...
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1、隔膜泵的極限壓強：泵的極限壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的z*低壓強。2、隔膜泵的抽氣速率：泵的抽氣速率單位是m3/s...
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四級桿質譜儀這些裝置單純用作殘余氣體分析儀或工藝氣體分析儀以及泄漏檢測儀。用于在較高壓力下分析混合氣體的進氣系統（包括泄漏檢測）。基于四級桿質譜儀的氣體分析系統可以用作多氣體泄漏...
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質譜探測器通過在磁場或電場中分離后進行電離來分離混合氣體，而石英視窗探測器利用氣體不同的滲透性能。示蹤氣體被傳送到加熱膜片的石英表面。石英膜片的載體層包括有幾千個孔的硅晶片，所有...
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局部泄漏檢測用于確定試樣中的泄漏。在真空方法中，試樣（容器）被連接至泄漏探測器，并使用噴槍將氦噴灑到可疑區域上。如果試樣中的壓力是在分子流范圍內，即<10-3hPa，測試速度將取決于試樣的體...
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整體泄漏檢測用于確定總泄漏率，即試樣中所有泄漏的總泄漏率。這里也可以使用真空方法和吸槍方法。在積分真空方法中（根據DINEN1779的方法A1，Figure7.7右手側），試樣（如真空系統）被抽空，且周圍...
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在進行局部泄漏檢測或整體泄漏測試之前，必須對泄漏探測器進行校準。集成在普發真空泄漏探測器中氦氣泄漏檢測正是用來對其進行校準的。校準程序在觸碰按鈕、泄漏探測器啟動時開始或自動開始，...
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四級桿質譜儀主要用于分析混合氣體的組成。它們需要高真空范圍內的測試壓力。質譜儀幾乎可以與任何示蹤氣體一起使用，因為它們的使用并不依賴于經典的示蹤氣體氦氣。殘余氣體分析儀無需任何特...
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在半導體制造業中，如集成電路的生產過程，許多關鍵的工藝步驟都是基于真空技術的。在硅加工過程中使用真空技術有幾個原因：■真空允許對條件進行控制，因為它排除了硅晶片中的環境空氣，如反應氣...
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灰塵是小尺寸器件集成電路生產的天敵。在開發集成電路的過程中，已經開發了有效的方法來消除生產環境中的灰塵。如有尺寸與電路結構元件相當的灰塵顆粒（臨界尺寸，CD）或更大的灰塵顆粒意外進入...
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在氣壓和環境溫度下，約含有1015個原子/cm2的固體表面每秒每平方厘米接收1023[37]次方的外來氣體分子和原子流。這意味著，在納秒內，該表面將會覆蓋上一些氣體分子層。分子粘著在表面的概率在很...
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真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備，它不見得有一些諸如散熱器，冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統的肯定是各種零部件齊全...
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