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漏孔的氣流特性
氣體由高壓力端通過漏孔向低壓力端的流動可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態。對于均勻圓截面導管型漏孔來說,其漏率為:從式(13-5)不難看出,漏孔的漏率與下列因素有關:①漏孔的幾何尺寸;②氣體的相對分...
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標準漏孔
標準漏孔是指一個在給定條件下能向真空系統內提供已知的氣體流量的裝置。一般要指明這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力條件。如不特別指明時,就是指溫度為23±7℃、入口壓力為100kPa(±5%)、...
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標準漏孔的分類及特點
標準漏孔的分類方法有兩種:一種分類方法是把標準漏孔分成實漏型的和虛漏型的。屬于實漏型的標準漏孔有金屬壓扁型標準漏孔、玻璃一鉑絲型標準漏孔、玻璃毛細管型標準漏孑L等。屬于虛漏型的標準漏孔有薄膜滲氦型標...
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金屬壓扁型標準漏孔
此種漏孔通常是用無氧銅管或者可伐管用模具壓制而成,制做簡單,性能穩定,不易堵塞,漏率為10^-3Pa.L/s—l0^-5Pa.L/s。具體結構如圖13-3所示。
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薄膜滲氦型標準漏孔
z*早使用的薄膜滲氦型標準漏孔是石英薄膜滲氦型標準漏孔,它是國外用于校準氦質譜檢漏儀靈敏度的z*通用的一種標準漏孔。帶氦室的石英薄膜滲氦漏孔(如圖13-2所示)的漏率一般為10^-2Pa·L/s~l0^-6Pa·L...
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玻璃鉑絲型標準漏孔
利用鉑絲與硬質玻璃的非匹配封接可得到漏率恒定的漏孔,具體結構如圖13-4所示。一般來說,當鉑絲直徑d=0.1mm—0.15mm,封接長度L=5mm—l0mm時,可以得到漏率為10^-4Pa.L/s數量級的分子流特性的漏孔。設進氣...
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玻璃毛細管型標準漏孔
此種漏孔是用局部拉細的玻璃毛細管制成的,漏率為l0-4Pa.L/s—l0-5Pa.L/s,漏率穩定,結構如圖13-6所示。
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放射漏孔
放射漏孔是一種絕對漏孔,具體結構如圖13-7所示。其原理是:由釙放射出的a粒子在俘獲電子后可成為中性氦原子。由放射性活度為3.7×107Bq的釙所產生的氦流量為1.42×10^-10Pa-L/s,因此,只要測出放射性活度...
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帶氣室的標準漏孔
除放射性漏孔外,上面介紹的標準漏孔都是開放型的,在使用時要提供氣源。為了使用方便起見,有時也把一些開放型漏孔加上一個氣室,傲成漏率穩定、使用方便的帶氣室的漏孔。例如,普通的氦質譜檢漏儀校準用的帶氦室的滲...
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多孔金屬型標準漏孔
此種漏孔一般是用金屬粉末壓制而成的。例如,有一種漏孔是用50%的鋁粉與50%的焊劑壓制成的(壓力為2.07×10^2kPa,它的結構堅固,制做容易,漏率為10^-2Pa.L/s左右)。
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質譜計比較法
質譜計比較法具體裝置如圖13-12所示。假定用一個帶氦室的已知漏率為Q1的漏孔L1來校準帶氦室的薄膜漏孔L2,校準過程如下:將氦質譜檢漏儀調到氦峰上,關閥門Sl和S2,記下輸出儀表讀數No;打開閥門S1,記下輸出儀表讀數N...
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標準漏孔的校準
標準漏孔的漏率一般都小于10^-3Pa.L/s,它的校準屬于小流量測量問題,有五種實驗測定的方法:已知流導的兩端壓降法,恒定抽速的壓力測量法,壓力容積法,質譜計比較法:放射性漏孔的口·射線活度測量法。常用的校...
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標準漏孔的校準:壓力容積法
壓力容積法的原理簡述如下:一個抽空了的封閉容器如有漏孔,氣體便通過漏孔進入容器內,此時容器中包含的氣量pV必然隨時間而增加,如果沒有虛漏時,漏孔漏率Q=△(pV)/At,At為測量的時間。若壓力戶保持不變,改變體積,測...
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檢漏方法的分類
檢漏方法和儀器是很多的。根據所使用的設備可分為氦質譜檢漏儀法、鹵素檢漏儀法及其它簡易檢漏法。根據被檢容器所處的狀態又可分為壓力檢漏法與真空檢漏法。下面我們根據后一種分類法分別加以說明。1.壓力檢漏法...
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使用標準漏孔的注意事項
①標準漏孔漏率的標稱值是指環境溫度為(23±7)℃,漏孔進氣端的壓力為100kPa(±5%)時干燥空氣通過漏孔的漏率。如果使用條件與上述條件不同,對于滿足分子流條件的實漏型漏孔,可按下式換算式中p—...
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