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機械設備
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用于真空殘余氣體分析的質譜計都可用來檢漏(其示漏物質可用氫、氦、氬等)，但檢漏靈敏度各不相同，見表13-14。自20世紀40年代把質譜計用于檢漏之后，檢漏技術有了長足的發展。專門用來檢漏的質譜計叫質譜檢漏儀。其...
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氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、接收器、真空系統、電子線路及其它電氣部分組成。目前的氦質譜檢漏儀基本上都是磁偏轉型的。現以1800的磁偏轉型儀器(例如HZJ-1型氦質譜檢漏儀)為例加以說明。圖13-27是儀器的原理...
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氦質譜檢漏儀的一個新發展是返流檢漏儀的出現，如圖13-33所示。此儀器的優點是，由于它的質譜室是處在高真空一側，被檢件則接在前級位置，因此能在較低真空度下對被檢件進行檢漏，且減少丁被檢件中的污物對質譜室的污...
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評價一臺氦質譜檢漏儀，需要全面地看它的主要性能指標，這些指標是：1.靈敏度及其校準關于氦質譜檢漏儀靈敏度的定義，在世界各國還不很一致，在我國基本上都是用z*小可檢漏率來表示的。氦質譜檢漏儀的靈敏度，即z*小可...
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反應時間與清除時間表明了檢漏儀的動態特性。一般規定氦質譜檢漏儀的反應時間與清除時間不得大于3s。定義：若儀器本底輸出指示為零(或補償到零)，質譜儀節流閥完全開啟，由節流閥處送入一個恒定的氦流量，輸出儀表指...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將6104型氦質譜檢漏儀性能、指標分述如下：它是一種1800單級磁偏轉型儀器，是在HZJ...
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在選擇與使用氦質譜檢漏儀時，要注意工作真空Pp。極限真空pL及節流閥的抽速Sj。這些都是儀器的重要參數。檢漏時，被檢件除了可能有漏氣外，不可避免地還會有出氣，如果不加輔助真空系統的話，被檢件的漏氣與虛漏的總氣...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：1、HZJ-1型、TL-1型和JLH-1型氦質譜檢漏儀它們在結...
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上面講過的1800磁偏轉型和一級扇形磁場氦質譜檢漏儀靈敏度為10^-6Pa.L/s～10^-10Pa·L/s。這種儀器的靈敏度主要受儀器的本底和噪聲所限制。提高靈敏度的關鍵是需要增加儀器的信號噪聲比。1959年，彼得斯(Pet...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：4.ZLS-23型氮質譜襝漏儀此儀器是一種單級1806磁偏...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：5.ZhP-4A型超高靈敏度質譜探漏儀。ZhP-4A型超高靈...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS-24型氮質譜檢漏儀。這是一種單級的180。磁偏轉...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZhP-10型氦質譜檢漏儀。此檢漏儀是磁偏型以氦為示...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZLS系列某些新型號氦質譜檢漏儀。目前ZLS系列氦質...
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我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：ZQJ系列菜些新型號氮質譜檢漏儀。目前ZQJ系列氦質...
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