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機械設備
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在規與被測系統之間安置冷阱后,規就測不出可凝蒸氣的分壓。為簡化起見,先假設規與被測系統的溫度相等,再來研究下面的問魎。①在高壓力下,平衡時各處全壓相等,冷阱的存在會引起各處理想氣體和可凝蒸氣分壓分布的變...
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低于大氣壓的氣體全壓測量的范圍很廣,而且存在著各種氣體成分組合、各種氣流狀態、不同環境條件等因素,情況比較復雜。在選用真空規和測量方法時要考慮如下各點:①測量范圍、精度、反應速度;②所選規與被測氣體間...
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真空規安裝的位置和方法對測量值有明顯的影響,尤其是當系統中存在氣流、氣源、溫度分布等非均勻條件時,這種影響更大。(1)安裝位置應該盡可能地把真空規接在要測壓力之處,如果由于某種原因必須在其間安置導管、冷...
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要使真空規能獲得的測量結果,必須科學地制訂校準規程和測量規程。要做到真空量值的國際統一,除要具有準確的真空測量標準和良好的相對規以外,還必須科學地制訂出統一的校準規程和測量規程。某一壓力用同樣的真空規...
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目前,真空獲得技術已由超高真空發展到10^-10Pa—l0^-11Pa的極高真空階段。在超高真空和極高真空下,容器內部的氣體組分和容器內部的表面狀態關系十分密切。在研究這種條件下的真空物理和真空化學過程時,除了...
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1.真空和表面物理研究對于通常的真空研究,真空分析質譜計的主要用途是分析真空系統內的殘余氣體。而對表面研究來說,目前已逐步將真空質譜計和低能電子衍射儀、俄歇電子譜儀、二次離子質譜計、化學分析電子譜儀和...
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真空分析質譜計的一般要求為:①儀器探頭尺寸小、質量輕、易于安裝;②對于磁偏轉型儀器和擺線型儀器來說,儀器的雜散磁場必須很小;③儀器探頭應具有互換性,成本低,允許一機可配用數個探頭;④探頭能經受400℃烘烤,離...
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所有的真空質譜計都具有三個組成部分:離子源、分析器和離子檢測器。按分析器工作原理的不同,真空質譜計可歸納為以下四類(圖12-1):類:磁偏轉質譜計。在一定的入射速度下,根據不同質荷比的離子在磁場中偏轉半徑的不...
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真空質譜計離子源的功能是將氣體分子或原子電離為離子,并將所產生的離子由離子光學透鏡加速和聚焦,再引入分析器。離子源的主要指標是離子產額和離子能量分散度。離子產額定義為離子源產生的離子流和離子源內壓力...
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尼爾型電子碰撞式離子源由電子槍、電離室和離子光學系統組成(圖12-3)。電離室中的氣體分子受到熱陰極發射的電子碰撞而電離。電子由陰極和隙縫S2之間的電位差加速,通過準直隙縫S1和S2進入電離室。隙縫的寬度為1mm...
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文獻[199]介紹了一種用于四極質譜計的高產額離子源(圖12-4)。這種離子源的電離區較大,而且在這較大的區域內都具有中等強度的引出電場,該引出場對離子還起會聚作用,因此離子源的離子產額較高。又由于離子源的電離...
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布盧姆(Blum)等設計的用于四極質譜計的冷陰極離子源是由雷德黑德冷陰極磁控規演變來的。這種離子源的電子是由高壓放電產生的。由于存在磁場,電子按螺旋形軌跡向陽極運動,使其有效軌跡長度增加了104倍,因而提高了...
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等離子體離子源有許多形式,多用于加速器、同位素分離器和二次離子質譜計等設備。長期以來,這類大型離子源不是用于真空質譜計的,但在z*近報道的幾篇資料表明,這類離子源對氣體分析也適用,文獻[204]介紹了一種陽極...
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在一個簡單的平行電子束的電子碰撞源中,離子源的電離效率主要取決于電離區內電子軌跡的平均長度。文獻[214]介紹了一個簡單的電子振蕩型離子源如圖12-11所示,對陰極處于和陰極相同的電位。從陰極發射的電子在陰極...
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文獻[217]介紹了利用三維四極離子阱作為四極質譜計離子源的研究結果。作者研制了兩種離子源,一種是用不銹鋼精加工成的(圖12-15),另一種是用38目的銅絲網壓制而成的(圖12-16)。由于三維四極離子阱具有貯存離子的功...
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