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四極質譜計：峰形

四極質譜計的峰形通常為三角形，在一些高性能儀器中，在分辨本領不高1的條件下，可以為圓頂峰。為了對峰形加以限制，引用峰形系數。蜂形系數定義為一個峰的50%峰高處的AMso%和10%蜂高處的AMio%的比。正常的峰形系數不...

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四極質譜計：靈敏度

四極質譜計的靈敏度通常由三個因素組成：離子源的靈敏度、四極場的傳輸率、離子收集效率。①離子源靈敏度和離子源結構、各級電壓選擇有關。通常四極質譜計選用的離子源有高離子產額的電子振蕩型離子源(如B-A型離子...

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四極質譜計：積分譜及總壓力測量

四極質譜計的積分譜特性可以用于系統的總壓力測量。從圖12-55的穩定圖可看出，當加在桿系上的直流電壓為零時，質量掃描線和q軸重合。當加在桿電極上的電壓很小，保證M=1離子的q值小于0.9時，則全部質量離子的n、q值均...

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四極質譜計：污染

儀器長期使用，四極探頭的污染是不可避免的。污染源主要來自兩個方面：真空系統油污染、被分析樣品的污染。在一般的高真空系統中，油污染是經常遇到的，如油擴散泵真空系統、渦輪泵系統，即使一些無油系統，利用質譜計...

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四極質譜計基本參數設計

1.基本參數和儀器性能之間關系(1)四極桿半徑r桿、桿長度L、安裝形式及裝配精度桿半徑r桿和場半徑ro的關系為：r桿/ro=1.148。桿半徑r桿增加可提高離子傳輸率，特別對大質量數的離子具有高的傳輸效率。但桿半徑r桿增...

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技術指標測試方法：質量范圍測試

對線性質量標度的四極質譜計昀質量范圍上限可采用下述方法進行：①選擇分子量大于質量范圍上限2/3的樣品氣體充人測試系統，調整儀器參數，記錄該氣體譜峰;②手動調到該峰峰頂，并記錄該峰質量數M和對應的可確切代表高...

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技術指標測試法：分壓靈敏度測試

四極質譜計分壓靈敏度測量可按下述步驟進行：①將測試系統抽至極限壓力后，向測試系統充入氮氣，使電離計指示壓力高于極限壓力(1～2)倍;②掃描氮分子峰.調節儀器參數，在保證分辨本領(10%)達到28～35條件下，記錄M=28u峰...

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z*小可檢分壓力測試

通常，指標高于10^-9Pa的四極質譜計的z*小可檢分壓力測試方法按下述步驟進行：①將測試系統抽至極限壓力后，向測試系統充入氖氣，使電離計指示壓力高于極限壓力(1～2)倍。記錄氖分子離子峰20u的離子流Il和電離計的指示...

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z*大工作壓力測試

四極質譜計z*大壓力測定可按下述步驟進行：①按分壓靈敏度測量方法，調節進樣微調閥，記錄測試系統壓力p和對應的離子流J;②繪制靈敏度一壓力曲線，對應50%靈敏度時的壓力確定為z*大工作壓力。

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基本參數設計一般步驟

四極質譜計基本參數設計依據儀器指標要求，根據加工條件和電子元器件進行折衷設計。以真空測量用的小型四極質譜計為例，設計指標設定為：質量范圍1u～50u;分辨本領為M/AM=50;z*小可檢分壓力為10-9Pa;響應時間為O.1s...

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四極質譜計：峰強穩定度

表征儀器長期工作條件下質譜探頭及電路穩定性。四極質譜計的峰強穩定度測量可按下述步驟進行：①測試系統抽至極限壓力，向系統充入氮氣，使壓力增高約兩個數量級;②調整儀器工作參數，保證對氮分辨本領達到28～35，離子...

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四極質譜計：z*小可檢濃度

z*小可檢濃度可采用已知濃度的標準混合氣體測量或采用已知的同位素豐度比進行測量：①測試系統抽至極限壓力，向系統充人一定壓力標準混合氣體，標準氣體中被測組分的壓力分數為CO;’②調整儀器工作參數，測量被...

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真空系統：定量測量

由于四極質譜計錄敏度變化因素很多，給定量測量帶來很大困難，必須在進行大量實驗的基礎上，對儀器進行校準后才有可能進行定量測量。利用標準混合氣體校準方法，進行系統中的濃度測量已經得到較廣泛應用。操作者可以...

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真空系統殘余氣體分析

利用質譜計的模擬掃描模式(或棒掃描)在儀器的工作質量范圍內，選擇適當的參數對系統進行全譜掃描，記錄系統殘余氣體的全譜圖。一般掃描高真空系統全譜的質量范圍選擇lu～100u就夠了。小型質譜計可以選擇lu～50u。在質...

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真空系統：儀器進展概況

四極質譜計的工作原理是由Paul等在1953年s*先提出的，而后，在1955年又介紹了按此原理研制的實際儀器。1960年文獻[289]介紹了一臺冷陰極的真空分析的四極濾質器。幾乎同時，于1963年我國研制出用于真空檢漏的四極檢...