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機械設備
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超高真空系統所用的主泵有油擴散泵、濺射離子泵、鈦泵(蒸發式或升華式鈦泵)、渦輪分子泵、低溫泵等。近年來國內有用鋯鋁吸氣劑泵與其它泵類組合抽氣來獲得超高真空。對超高真空系統使用的真空泵要求，除通常的選泵...
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油擴散泵是獲得超高真空的重要泵種，但必須很好地解決污染，否則無法獲得超高真空。擴散泵系統的污染主要來自擴散泵油的返流，機械泵油的返流，以及擴散泵油加熱分解產生的性氣體，如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴散泵油...
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高壓縮比的渦輪分子泵，以雙級旋片式真空泵為前級，可得到5×10-9Pa的真空度。用擴散泵作前級，可得到10-9Pa真空度。泵入口安裝上鈦升華阱，獲得的真空度高于10-9Pa。渦輪分子泵對氫的壓縮比較小，殘余氣體中主要...
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一、汽蝕產生原理汽蝕是由液體氣化引起的，液體分子逸出液體表面，成為氣體分子的過程，稱為“氣化”。液體的氣化程度與壓力的大小、溫度高低有關。溶解于液體中的氣體，在壓力和溫度變化時也會釋放出來，形...
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電磁真空閥靠磁場磁力和彈簧復位力用以打開或關閉閥門，它有常開、常閉兩種規格，通常應用z*多的是不通電時常閉，這樣遇到突然停電，閥門自動關閉，避免大量空氣進入真空室。①上海閥門二廠生產的電磁閥有GDC-J型電磁...
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電磁充氣壓差閥是裝在機械真空泵進氣口上的專用閥門，當泵停止運轉時，利用大氣壓力使閥板自動落下將真空系統封閉，并通過閥的充氣口將大氣充入泵腔中，起到保持真空系統的真空度和防止機械真空泵油返流污染真空系統...
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低溫泵對不銹鋼制造的超高真空容器排氣很適合。20K的低溫泵可得到10^-8Pa的真空度，4.2K的低溫泵，可得到10^-10Pa—l0^-12Pa的真空度。低溫泵系統不產生碳氫化合物、金屬膜的剝落碎片或自身帶來的其它污染。在...
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濺射離子泵通常與鈦升華泵聯合使用。濺射離子泵的殘氣中主要成分是氫，而鈦升華泵抽氫效果z*好。一般中小型真空系統以濺射離子泵作主泵;而大型系統以鈦升華泵作主泵，用這種機組可得到10-9Pa的真空度。在超高真空系...
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真空泵保養應注意的十二個竅門1.檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。2.向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。3.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水或引漿。4.關好出...
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真空微調閥又名真空針閥，靠螺桿傳動來調節錐形針和孔的縫隙長度，改變閥座流導值，用以調節流量裝置的氣體流量和控制真空容器的真空度。①上海閥門二廠生產GW-J-T型和ZT型兩種規程的真空微調閥。適用介質為空氣及非...
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真空球閥有手動、氣動和電動三種，與真空蝶閥相同，是只需旋轉90。就能實現關或開的真空閥門。真空球閥開關速度快，但體積和漏率都較真空蝶閥大。適用介質為空氣、水、蒸氣、酸、堿等。①上海閥門二廠生產的系列球閥...
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圖9-13是分子束外延設備真空系統原理圖。真空室由工作室、噴射爐室、樣品預備室成。工作室極限真空為1×10^-8Pa，外延時的工作壓力為1×10^-6Pa。主泵為抽速6×10^3L/s的濺射離子泵一鈦升華泵機組，...
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圖9-14為鉭片爐真空系統原理圖。真空室直徑500mm，主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組，抽速為4×10^3L/s。真空室極限真空為2xl0^-7Pa，工作壓力為2×10^-5Pa，為了粗抽及對付工藝過程中放出來的大量氣體，...
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圖9-15為表面研究用的超高真空設備真空系統原理圖。真空室用不銹鋼制成，直徑450mm，高700mm，容積100L，用銅墊圈密封。系統粗抽用三個分子篩泵及無油機械泵。主泵是鈦升華泵，吸氣面用液氮冷卻，配有濺射離子泵與升華...
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真空角閥是用于低、高、超高真空系統中的前級泵的配套元件。沈陽中科儀技術發展有限責任公司生產的CD-J型真空角閥按法蘭密封形式分為真空角閥（氟橡膠密封）及全金屬角閥（無氧銅墊密封）二種，閥體為不銹鋼，閥傳動密...
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