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機械設備
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北京北儀創新真空技術有限責任公司生產的JK系列擴散泵真空機組由低真空泵、高真空油擴散泵，高真空閥，低真空閥，充氣閥，擋油器等通過機架及管道組合在一起對容器進行抽氣獲得高真空的設備。具有結構緊湊，操作靈活可...
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沈陽恒星實業有限公司生產的JZ系列油擴散噴射泵真空機組又稱油增壓泵機組。它由油擴散噴射泵、旋片泵、高真空氣動擋板閥及管路等組成。該機組抽氣能力大、粗抽時間短、維護簡單、操作方便，是真空應用設備的理想配...
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真空鍍膜中，鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。在設計蒸發源時，需注意事項是：①蒸發源要使膜材有較高的蒸發率，并能存貯足夠的膜材；②蒸發...
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真空鍍膜中，鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。其中，電阻加熱式蒸發源實際上就是一個電阻加熱器，它是利用發熱體通電后，產生焦耳熱而獲得...
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沈陽蘭菱真空設備公司生產的JK系列擴散泵真空機組是以高真空油擴散泵為主泵，配有一整套真空元器件所組成的高真空抽氣設備，它可使被抽容器獲得10-2Pa—10-4Pa的高真空。因而被廣泛應用于電子工業、化學工業、...
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表9-48-表9-49給出了（甘肅騰飛真空泵制造有限公司生產的）油擴散泵、油增擴泵、油擴散噴射泵及臥式油擴散噴射泵真空機組型號及技術參數。
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(1)感應加熱式蒸發源的工作原理及特點將裝有膜材的坩堝放在螺旋線圈的中央（不接觸），在線圈中通以高頻電流，膜材在高頻電磁場感應下產生強大的渦流，致使膜材升溫，直至蒸發，膜材體積越小，所需頻率越高，每塊僅有幾毫...
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真空鍍膜中，鍍膜機常用的蒸發源有電阻式加熱蒸發源、電子束式加熱蒸發源、空心熱陰極等離子束蒸發源、感應式加熱蒸發源。隨著薄膜技術的廣泛應用，不但對膜的種類要求繁多，而且對膜的質量要求也更加嚴格了。為了適...
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電阻式加熱方式常用蒸發源材料有鎢、鉭、鋁等。其性能見表10-4。表10-4蒸發源所用金屬材料的性質
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電阻加熱、高頻加熱、電子束加熱方式各有特點，其性能比較見表10-3。
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在真空獲得和真空測量技術中，經常遇到各種工藝問題。這些工藝問題涉及面很廣，除一般的機械加工外，主要有材料及零(部)件的清潔處理，不同材料的焊接、粘結和封接，設備的真空排氣工藝以及吸附劑活化處理等。現將主要...
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真空技術中的清潔處理一般指的是真空裝置的結構材料、填裝材料和真空零(部)件的清潔處理。去除或減少污染物將有利于獲得良好真空，增加連接強度和氣密性，提高產品的壽命和可靠性。污染物的幾種類型①油脂：加工、安...
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各種蒸發器材料所適用的蒸發金屬（膜材），其匹配性見表10-5。
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蒸發鍍各種坩堝材料性能見表10-6。
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真空對環境的要求一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、濕度、空氣中的微粒等周圍環境的要求，和對處于真空狀態或真空中的零件或表面的要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真...
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