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機械設備
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本機組是以羅茨泵為主泵，水環泵為前級泵串聯而成的。其結構緊湊，操作方便。用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性的可凝性氣體。適用于真空蒸餾、蒸發、脫水、干燥等工藝過程中，其型號及技術參數見表9-27。
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玻璃一金屬封接電極有8種型式，分別為：杜美絲過渡封接雙芯電極、鎢鉬桿匹配封接雙芯電極、無氧高導銅不匹配封接單芯電極、可伐管匹配封接單芯電極、帶袖套的鎢鉬玻璃封接雙芯電極、鎢桿玻珠可伐片封接單芯電極、單...
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陶瓷一金屬封接電極可分為釬焊封接和橡膠密封封接（可拆卸），其型式見表7-103。
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真空用高壓電極型式如圖7-50~圖7-53所示。
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JZJX系列羅茨一旋片真空機組及JZJS系列羅茨一水環真空機組。型號及技術參數見表9-29~表9-30
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該機組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵并配有電磁閥，管路等組成的真空獲得設備。它具有結構緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點。廣泛應用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度...
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(1)低壓小電流電極低壓小電流電極分為固定型(圖7-40)和插入型（圖7-41）。(2)低壓大電流電極低壓大電流電極型式較多，如圖7-42～圖7-49所示。
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擴散泵真空機組是真空工程中廣泛使用的一種抽氣設備，其工作壓力范圍10-IPa-10-4Pa，抽速從102L/S—2×104L/S。它采用油做工作介質，對于怕油污染的真空環境，其使用受到了一定限制。如果采用五氯酚苯基乙...
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此羅茨泵機組是由羅茨泵、干式真空泵、管路、控制電源等組裝而成的少油真空獲得設備。性能可靠、操作簡單，可廣泛應用于化工、制藥、航天等真空技術領域。其型號及技術性能見表9-34。
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沈陽中科儀技術發展有限責任公司生產陶瓷封接CF組件型和陶瓷封接引線瓷片型，前者帶有CF法蘭，后者不帶法蘭。技術參數見表7-106～表7-108。
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本標準適用于真空設備中的陶瓷金屬封接式引入電極。封接式電極分工型、Ⅱ型、Ⅲ型三種，其結構型式及尺寸：I型按表7-104規定，Ⅱ、Ⅲ型按圖7-54、圖7-55規定。標記示例：電極桿為3mm的I型封接式電極，其標記為：封接電...
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上海曙光機械廠生產的JK系列擴散泵機組型號及性能見表9-35。
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蘭州真空設備廠生產的JK系列擴散泵真空機組有兩種類型：主泵是直腔式油擴散泵及主泵為凸腔式油擴散泵。其機組型號及技術參數見表9-36。
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現代薄膜技術的開拓者是德國學者馬克斯·奧維將教授，早在20世紀30年代中期，他已開始研究和生產光學薄膜。經半個世紀后，薄膜應用已遍及國民經濟各個領域。在機械行業，鍍層刀具已得到廣泛應用，鍍層主要是TiN...
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真空蒸發鍍膜原理圖如圖10-1所示。將膜材置于真空室中，通過蒸發源加熱使其蒸發，蒸氣的原子或分子從蒸發源表面逸出，由于空間氣體分子的平均自由程大于真空室的線性尺寸，因此很少與其它分子或原子碰撞，可直接到達被...
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