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濺射離子泵通常與鈦升華泵聯合使用。濺射離子泵的殘氣中主要成分是氫，而鈦升華泵抽氫效果z*好。一般中小型真空系統以濺射離子泵作主泵;而大型系統以鈦升華泵作主泵，用這種機組可得到10-9Pa的...
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真空泵保養應注意的十二個竅門1.檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。2.向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。3.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注...
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真空微調閥又名真空針閥，靠螺桿傳動來調節錐形針和孔的縫隙長度，改變閥座流導值，用以調節流量裝置的氣體流量和控制真空容器的真空度。①上海閥門二廠生產GW-J-T型和ZT型兩種規程的真空微調閥...
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真空球閥有手動、氣動和電動三種，與真空蝶閥相同，是只需旋轉90。就能實現關或開的真空閥門。真空球閥開關速度快，但體積和漏率都較真空蝶閥大。適用介質為空氣、水、蒸氣、酸、堿等。①上海閥...
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圖9-13是分子束外延設備真空系統原理圖。真空室由工作室、噴射爐室、樣品預備室成。工作室極限真空為1×10^-8Pa，外延時的工作壓力為1×10^-6Pa。主泵為抽速6×10^3L/s的濺射...
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圖9-14為鉭片爐真空系統原理圖。真空室直徑500mm，主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組，抽速為4×10^3L/s。真空室極限真空為2xl0^-7Pa，工作壓力為2×10^-5Pa，為了粗抽及對付工藝過程...
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圖9-15為表面研究用的超高真空設備真空系統原理圖。真空室用不銹鋼制成，直徑450mm，高700mm，容積100L，用銅墊圈密封。系統粗抽用三個分子篩泵及無油機械泵。主泵是鈦升華泵，吸氣面用液氮冷卻，...
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真空角閥是用于低、高、超高真空系統中的前級泵的配套元件。沈陽中科儀技術發展有限責任公司生產的CD-J型真空角閥按法蘭密封形式分為真空角閥（氟橡膠密封）及全金屬角閥（無氧銅墊密封）二種，閥...
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高真空氣動翻板閥是以壓縮空氣作為動力，用以改變活塞運動方向帶動閥板作啟動動作，實現真空系統或管道中氣體的截止與導通。該類閥門結構簡單、開閉時間短，并可實現自動控制，廣泛用于冶金、電...
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圖9-16為衛星表面溫控涂層耐久性試驗裝置原理圖。裝置包括：加速電壓20kV、柬流為0—300mA的掃描電子槍;能量為1keV～SkeV的質子源;5kV高壓汞弧氙燈紫外源，通過鍍鋁拋物面反射鏡，穿過石英...
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圖9-17為小型雙層空間模擬設備原理圖，內容器可以達到10^-10Pa～10^-12Pa的真空度。真空室由內容器和外容器構成。內容器主要抽氣手段是20K氣氦板，其預抽用擴散泵，擴散泵與內容器之間抽氣管道較...
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成都無極真空科技有限公司生產的CD-J型超高真空截止閥，采用金屬密封，耐烘烤，廣泛用于超高真空系統中。閥板任意一面可直接通大氣而另一面仍能保持超高真空。該閥也可用于高溫或低溫下工作的低...
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小型擴散泵高真空抽氣機組通常配置有貯氣罐，設置在擴散泵和前級泵之間，貯存擴散泵排出的氣體，設置貯氣罐的原因有：①由于需要防震而設置貯氣罐。真空系統工作時，某些工藝過程要求嚴格防震，因...
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逆止閥又稱自封閥（常閉型），該閥分為閥體和專用接口兩部分，閥體與專用接口連接或拆卸的瞬間能確保空氣不進入工件內。該閥具有體積小、聯接快速、操作簡便、密封性能可靠的優點，適用于真空設備...
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圖9-18為大型空間模擬設備原理圖。此設備是波音公司為“月球軌道器”及“勘測者”宇航器而建造的。真空室直徑12m，高15m，容積為1500m^3。容器主要抽氣手段有裝在容器中的...
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