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機械設備
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抑制規較B-A規改進之處是把離子收集極移出了電離區（即移出柵極）。為了增大收集離子的效率，把絲狀收集極改為圓片狀，并用屏蔽盒將它包圍起來，在屏蔽盒內還增加了一個抑制極，從而組成了一個新的離子收集系統。屏蔽盒...
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彎注規是抑制規的發展，即在抑制規的電離區域與離子收集系統之間增加了一個靜電偏轉系統，使離子收集極系統的軸線相對柵極的軸線偏轉了90°。靜電偏轉系統的作用如下：①穿過聚焦極圓孔的離子束在偏轉極的靜電場...
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雙彎注規是管型電子倍增器電離規的一種，其規管靈敏度系數K=1.5×10^18[(C／S①／(A．Pa)]，測量下限PR≤1×10^-10Pa，預計可測10^-12Pa的極高真空。雙彎注規的結構原理如圖11-54所示。離子在偏轉極V1的電...
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隨著真空斷路器使用量的迅速增長，真空斷路器故障率也在增加。據全國電力系統開關設備狀況統計：相對其他種類的斷路器，真空斷路器的開斷與關合事故比例較高，問題主要出在滅弧室部分，滅弧室漏氣、真空度不足是主要原...
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分離規（圖11-56）與抑制規不同之處是收集極為短的細金屬絲。增加了離子反射極，沒有抑制極，環形陰極是環繞柵極安裝的。陰極、屏和離子反射極的電壓都是200V，柵極電壓Vg=305V，發射電流Ie=2mA，離子收集極通過靜電計接...
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致發射冷陰極彎注規由場致發射冷陰極、離子產生器、離子偏轉器及離子收集極四部分組成，結構如圖11-55所示。離子產生器主要部分是一個Pt-clad-Mo合金柵網，電子由冷陰極發射后在柵網空間振蕩并使氣體分子電離，離子...
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球柵型離子譜規的結構如圖11-59所示。環形燈絲發射的電子射入球形柵網內，在球心附近形成一負空間電荷，電離產生的離子也聚集在球中心附近，因此可使氣相電離離子（處于球中央負電位處）與ESD離子（柵極表面產生的離子）...
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真空標準是真空測量的基礎，也是研究和發展真空測量的有力工具。在計量學中，計量標準的精度指的是單個量多次獨立測量之間的相互一致的程度。為了確定計量標準的精度，需要對測量歷史和偶然誤差進行研究。計量標準的...
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以絕對真空規為標準，將被校真空規與絕對真空規進行直接比較的系統，稱為絕對真空規比對校準系統。絕對真空規除前面已分別介紹的精密U形壓力計、壓縮式真空規、磁懸轉子粘滯性規和克努曾規以外，還有活塞規、葉片規...
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圖11-70是動態流量法校準系統的原理圖。根據氣流連續性方程，有在穩定平衡時如果我們用絕對規測量pM，并據分子流理論，按結構尺寸計算出(11-52)就可計算出壓力p，于是就能對接于校準室上的規管進行校準。在氣流處于熱...
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概括地說，動態流量法具體地說，有如下四個原則：①盡可能保證分子流狀態。例如要防止分子束射效應，避免定向流的存在。國際標準化組織公布的草案（ISO/DIS3570/1）中規定，流導U2前后的兩個容器的內切球表面積應比孔U2...
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已建成的動態流量法校準系統按結構分類有如下幾種類型：固定流導法(圖11-71、圖11-72)、可變流導法(圖11-73)及參考轉換器法（圖11-74）等。所采用的上游參考標準有精密U形壓力計、壓縮式真空規、精密流量計、電容薄...
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動態流量法的誤差，來源于下列三個方面：①與式(11-51)相比，式(11-52)忽略了一些次要因素的作用。如果采用式(11-52)進行計算，就要引入誤差。但是由這些被忽略的因素所引起的誤差，即使不能確定，也還是能夠粗略估算的...
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分子流理論是動態流量法的理論基礎。但是在超高真空和極高真空區間，分子流理論的前提假設條件已難以完全滿足，一些基本定律已不完全適用。動態流量法的特點是將大流量的氣流注入到校準室中，通過比較大的流導U2進行...
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1．解決準確度問題①出現更多類型的絕對真空標準。②真空標準間互校的研究和進行國際性的比對。③需加強有關基礎理論的研究。例如開展與超高真空校準密切有關的超稀薄氣流的研究；開展與膨脹法校準密切有關的吸附理...
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